微小弄氣體質(zhì)量流量控制器應用：

  氣體質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量。它們在多個領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應用。其典型的應用場合包括：宅子工藝設(shè)備，如擴散、氧化、分子束外廷、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其它各種類型的分析儀器。

微小型熱式氣體質(zhì)量流量控制器特點：

  1、采用微機電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
  2、在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
  3、傳感器零點穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計有*的改善。
  4、結(jié)合二次儀表的微電腦智能按術(shù)，使流量計重復性好，實現(xiàn)了計量準確可靠。
  5、技術(shù)進步帶來的結(jié)構(gòu)簡化，使流量計較之傳統(tǒng)的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
  6、微功耗設(shè)計。采用LCD顯示瞬時流量和累計流量，清晰直稠，讀數(shù)方便
  7、產(chǎn)品融臺了電磁兼容設(shè)計技術(shù)，具有更高抗*力。
  8、流量計帶有R5485通訊模塊，配合上位計算機網(wǎng)絡可實現(xiàn)集中管理。

微小型氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品安裝

  本產(chǎn)品*為水平安裝。基座上的箭頭標記方向為介質(zhì)流向。介質(zhì)進出端口連接必須正確，進口端
需裝高效過濾器。
  安裝步驟如下：
  (1)取出流量計后檢查其外表，確定無損傷；
  (2)連接并清潔管道；
  (3)將流量計安裝到管道上，并注意如下事項：
  ①為了保證流量計的計量準確性，安裝時要先連接流量計的上游端，上游直管段應滿足10DN的
zui低要求，下游直管段應滿足5DbJ的zui低要求j
  ②流量計安裝時不髓有任何密封物質(zhì)滲入管道內(nèi)：
  (4)連接電源電纜線，需要注意接線時的極性，確保輸入的直流電壓在(5~12) VDC；
  (5)如需要連接信號線，應保障信號線與相應用戶界面端連接無誤j
  (6)接通電源，液晶屏顯示正確。
  (7)開啟管道上下游的閥門，流量計開始計量管道中的氣體流流量。

微小型氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)指標：