微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)特點(diǎn)：
  1、采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí)，使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。
  2、在單個(gè)芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使該流量計(jì)的量程比（范圍度）大大提高。
  3、傳感器零點(diǎn)穩(wěn)定度較之傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)有*的改善。
  4、結(jié)合二次儀表的微電腦智能按術(shù)，使流量計(jì)重復(fù)性好，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量準(zhǔn)確可靠。
  5、技術(shù)進(jìn)步帶來的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化，使流量計(jì)較之傳統(tǒng)的機(jī)械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
  6、微功耗設(shè)計(jì)。采用LCD顯示瞬時(shí)流量和累計(jì)流量，清晰直稠，讀數(shù)方便
  7、產(chǎn)品融臺(tái)了電磁兼容設(shè)計(jì)技術(shù)，具有更高抗*力。
  8、流量計(jì)帶有R5485通訊模塊，配合上位計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)可實(shí)現(xiàn)集中管理。

微小流量熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)用：

  氣體質(zhì)量流量計(jì)（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。它們?cè)诙鄠€(gè)領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要而廣泛的應(yīng)用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括：宅子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、氧化、分子束外廷、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其它各種類型的分析儀器。

簡(jiǎn)介：

  適合微小流量氣體質(zhì)量流量（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。是結(jié)合微機(jī)電系統(tǒng)( MEMS)流量傳感芯片技術(shù)和計(jì)算機(jī)自適應(yīng)技術(shù)歷經(jīng)多年，開發(fā)出的智能化全電子式氣體質(zhì)量流量儀表。主要技術(shù)性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點(diǎn)。針對(duì)工業(yè)環(huán)境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設(shè)計(jì)：且具有多種信號(hào)輸出，能通過通訊接口實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)管理功能。

  本產(chǎn)品在性能、安裝、維護(hù)方面也具有其*的*性，可廣泛應(yīng)用于石油、燃?xì)?、化工、冶煉、能源等各個(gè)領(lǐng)域。采用微機(jī)電系統(tǒng)芯片加工技術(shù)和犬規(guī)模集成電路的生產(chǎn)技術(shù)及材料生長技術(shù)，傳感器的尺寸縮小到了微米量級(jí)．使該流量計(jì)的靈敏度大大提高。

產(chǎn)品安裝
  本產(chǎn)品*為水平安裝?；系募^標(biāo)記方向?yàn)榻橘|(zhì)流向。介質(zhì)進(jìn)出端口連接必須正確，進(jìn)口端
需裝高效過濾器。
  安裝步驟如下：
  (1)取出流量計(jì)后檢查其外表，確定無損傷；
  (2)連接并清潔管道；
  (3)將流量計(jì)安裝到管道上，并注意如下事項(xiàng)：
  ①為了保證流量計(jì)的計(jì)量準(zhǔn)確性，安裝時(shí)要先連接流量計(jì)的上游端，上游直管段應(yīng)滿足10DN的
zui低要求，下游直管段應(yīng)滿足5DbJ的zui低要求j
  ②流量計(jì)安裝時(shí)不髓有任何密封物質(zhì)滲入管道內(nèi)：
  (4)連接電源電纜線，需要注意接線時(shí)的極性，確保輸入的直流電壓在(5~12) VDC；
  (5)如需要連接信號(hào)線，應(yīng)保障信號(hào)線與相應(yīng)用戶界面端連接無誤j
  (6)接通電源，液晶屏顯示正確。
  (7)開啟管道上下游的閥門，流量計(jì)開始計(jì)量管道中的氣體流流量。

五、選型：

六、技術(shù)指標(biāo)：