真空步進(jìn)伺服電機(jī)位移臺(tái)，真空環(huán)境-由于沒有空氣流動(dòng)、無法形成散熱系統(tǒng)，
只能通過熱輻射進(jìn)行散熱。散熱非常慢，普通步進(jìn)電機(jī)，
在真空環(huán)境下，極度因?yàn)樯岵缓脮?huì)被燒掉。
真空步進(jìn)電機(jī)從材料和工藝以及真空潤滑方面進(jìn)行重新設(shè)計(jì)，
從而使電機(jī)可以應(yīng)用于真空、耐高低溫、防輻射等等環(huán)境下。
真空步進(jìn)伺服電機(jī)位移臺(tái)， 真空步進(jìn)伺服電機(jī)位移臺(tái)， ， ，
真空直線平臺(tái)：
真空步進(jìn)電機(jī)絲桿平臺(tái), 真空電機(jī)直線滑臺(tái), 真空直線平臺(tái),真空滾珠絲杠平臺(tái)
雙軸真空絲杠平臺(tái)，三軸真空絲桿直線平臺(tái)
AML的超高真空直線絲桿平臺(tái)提供長行程，具有zui小高度可以負(fù)荷達(dá)10kg，他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導(dǎo)軌在簡單的復(fù)合機(jī)制中是有用的扭轉(zhuǎn)載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料，動(dòng)力使用AML的耐高真空步進(jìn)電機(jī)步進(jìn)電機(jī)。直線運(yùn)動(dòng)由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合，精密研磨以保證良好的精度并將預(yù)緊絲杠位置穩(wěn)定性消除齒隙。
真空平臺(tái)指標(biāo)
行程25-250mm , 每步的分辨率可以達(dá)到1u，零間隙，高剛性結(jié)構(gòu)，負(fù)載可以達(dá)到50kg?？梢灾苯哟钶dXYZ運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。真空度范圍是：10^10mbar以內(nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)，使運(yùn)動(dòng)精度更高。
：郭工 , ， ,
