AWM40000 系列包括不帶放大和放大 / 信號處理的信號。
AWM42150V 和 AWM42300,使用和 AWM2000 相同的電 路。AWM43300V 和 AWM43600V 使用和 AWM3000 相同 的電路。AWM43600V 為 6SLPM 器件。
特點:
● 多個集中安裝 /O 形密封圈
● 陶瓷流量管(無引氣管),0-1000sccm ● 塑料流量管(無引氣管),0-6SLPM ● 高共模壓力(150psi)
● 工作溫度可至 125?C
● 零點和滿量程高穩(wěn)定性
AWM40000 系列選型指南
AWM40000 系列選型指南
AWM42150VH AWM42300V AWM43300V AWM43600V
流量范圍 ± 25sccm ± 1000sccm +1000sccm +6LPM
(滿量程)
輸出電壓 8.5± 1.5mV 54.7± 3.7mVDC 5± 0.15VDC 5± 0.15VDC
@ 標定點 @25sccm @1000sccm @1000sccm @6LPM
零點電壓 0.0± 1.0 mV DC 0.0± 1.0 mV DC 1.00±0.05VDC 1.00± 0.05VDC
零點漂移
+25~-25?C ± 0.20mV DC ± 0.20mV DC ± 0.025VDC ± 0.025VDC
+25~85?C
輸出電壓漂移
+25~-25?C +2.5% 讀數(shù)(典型值) ± 2.5% 讀數(shù)(zui大值) -5% 讀數(shù)(zui大值) -5% 讀數(shù)(zui大值)
+25~+85?C -2.5% 讀數(shù)(典型值) +6% 讀數(shù)(zui大值) +6%讀數(shù)(zui大值) +6% 讀數(shù)(zui大值)
重復性 & 遲滯 ± 0.35% 讀數(shù) ± 1.00% 讀數(shù) ± 0.5% 讀數(shù) ± 1.00% 讀數(shù)
壓降 @ 滿量程 --- 1.50(典型值) 1.02(典型值) 8.00(典型值)
(in H2O) Min Typ. Max.
電源(VDC) 8.0 15 (2)
功耗(mW) --- 60
反應時間(ms) --- 3.0 (1)
共模壓力(psi) --- 150 (AWM43600V是 25psi)
輸出負載 NPN(電流沉):10mA PNP(電流源):20mA
標定氣體 氮氣 (AWM42150VH 為氫氣)
比率變化量 ± 0.3% 讀數(shù)
工作溫度 -25~85C
儲存溫度(?C) -40~90C
沖擊