一、特點
1、 使用幾何尺寸的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準確。
2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，探針的小游移率。
3、 采用的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有立、準確的壓力。
4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導孔內(nèi)穩(wěn)定運動，持久耐磨。
| 產(chǎn)品簡介 一、特點 1、 使用幾何尺寸的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準確。 2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，探針的小游移率。 3、 采用的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有立、準確的壓力。 4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導孔內(nèi)穩(wěn)定運動，持久耐磨。 二、用途 1、 測量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻。 2、 測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜的方塊電阻。 三、探針間距 1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 2、 方形四探針…………… 1.00mm 3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 4、 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 四、指標 1、 游移率 3、 Z大針與導孔間隙：0.006mm 4、 探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進口碳化鎢）或高速鋼 5、 探針壓力 標準壓力：6—10N（4根針總壓力） 小壓力：1.2—5N（4根針總壓力） 1牛頓（N）=101.97克 6、 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層） 7、 500V緣電阻：＞1000MΩ |  |
