| 電子薄膜應(yīng)力分布測(cè)試儀 型號(hào)：HFGS-6341 | 貨號(hào)：ZH9912 |
| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子、光電子生產(chǎn)線上和科研、教學(xué)等領(lǐng)域Si、Ge、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形、 基片曲率半徑測(cè)量測(cè)試。該儀器總測(cè)量點(diǎn)數(shù)多，能給出場(chǎng)面型分布結(jié)果，適合于微電子生產(chǎn)線上產(chǎn)量的快速檢驗(yàn)和微電子生產(chǎn)研究。 儀器基于干涉計(jì)量的場(chǎng)測(cè)試原理，可實(shí)時(shí)觀測(cè)面型的分布，迅速了解被測(cè)樣品的形貌及應(yīng)力集中位置，及時(shí)淘汰早期失效產(chǎn)品。 產(chǎn)品特點(diǎn) *的錯(cuò)位相移 計(jì)算機(jī)自動(dòng)條紋處理 測(cè)試過(guò)程自動(dòng) 的曲面補(bǔ)償測(cè)試原理 指標(biāo) Z大樣品尺寸：≤100mm (4英寸) 曲率范圍：|R|≥5米 測(cè)試精度：5% 單片測(cè)量時(shí)間：3分鐘/片 結(jié)果類型：面形、曲率半徑、應(yīng)力分布、公式表示、數(shù)據(jù)表格 圖形顯示功能：三維立體顯示、二維偽彩色顯示、單截面曲線顯示 電 源：AC 220V±10%, 50Hz±5% Z大功耗：100W 外型尺寸：(L×W×H) 285mm×680mm×450mm 重 量：36kg |  |
