數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-N100 系列
數(shù)字式質(zhì)量流量控制器SEC-N100 系列在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進(jìn)行準(zhǔn)確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進(jìn)而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展,為*的制造工藝,包括半導(dǎo)體、光電和LED的制造提供服務(wù),并將繼續(xù)開發(fā)新的產(chǎn)品來滿足客戶的需求。在這些制造工藝中,對各種氣體的流量進(jìn)行準(zhǔn)確的測量和控制顯著地提高了工作效率,進(jìn)而節(jié)約了能源和提高了生產(chǎn)力。HORIBA STEC致力于質(zhì)量流量計(jì)的發(fā)展,為*的制造工藝,包括半導(dǎo)體、光電和LED的制造提供服務(wù),并將繼續(xù)開發(fā)新的產(chǎn)品來滿足客戶的需求。
特征:高精度(設(shè)定點(diǎn)為基準(zhǔn))MFC的線性度將由近似多項(xiàng)式曲線進(jìn)行補(bǔ)償。這幫助實(shí)現(xiàn)了對所有流量控制范圍的高精度控制。為了實(shí)際氣體流量的準(zhǔn)確性進(jìn)一步提高,各種工藝氣體的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)將按照HORIBA STEC標(biāo)準(zhǔn)的氣體測量系統(tǒng)進(jìn)行校驗(yàn)。
整個(gè)流量控制范圍內(nèi)都可實(shí)現(xiàn)高響應(yīng)速度
1秒高速響應(yīng)搭載了開發(fā)的“可變PID系統(tǒng)”,對于所有設(shè)置點(diǎn)它可以實(shí)現(xiàn)1秒內(nèi)的高響應(yīng)速度。當(dāng)您改變標(biāo)定滿量程和氣體種類時(shí),可變PID將根據(jù)當(dāng)下的設(shè)定點(diǎn)不斷變化,其PID參數(shù)也將隨之被優(yōu)化。
SEC-N102 系列:數(shù)字式信號(hào)傳輸,RS485 F-NET協(xié)議,模擬式信號(hào)傳輸,?0~5VDC
SEC-N104 系列:DeviceNet 信號(hào)傳輸,遵照ODVA標(biāo)準(zhǔn)
SEC-N106 系列:PROFIBUS 信號(hào)傳輸,模擬式信號(hào)傳輸,?0 至 5VDC, 0 至 10VDC 4 至 20mA