特點(diǎn)
使用長作動距離的對物鏡(zui高綜合觀察倍率4000×),影像鮮明,沒有刺眼感,您將可做廣視野的正立像觀察。它能對應(yīng)明視野、明暗視野、偏光、微分干涉等各式各樣的被測物之觀察評估。有同等級顯微鏡中zui大的載物臺(400×200㎜),并設(shè)計有大范圍量測時很方便的快速移動裝置。Z軸附有高精度的光學(xué)尺。在Z軸的兩側(cè)都裝有對焦旋鈕,及內(nèi)藏式X、Y軸歸零按鍵等,亦是重視操作性的新設(shè)計。處理系統(tǒng)搭配二次元資料 A25D 使用,尺寸量測更簡易。
技術(shù)參數(shù)
型號 | 505B | 1010B | 2010B | 2017B | 3017B | 4020B | |
貨號 | MF-A | 176-561DC | 176-562DC | 176-563DC | 176-564DC | 176-565DC | 176-566DC |
MF-B | 176-581DC | 176-582DC | 176-583DC | 176-584DC | 176-585DC | 176-586C | |
XY工作臺移動范圍mm | 50×50 | 100×100 | 200×100 | 200×170 | 300×170 | 400×200 | |
Z軸移動范圍mm | 150 | 150 | 150 | 220 | 220 | 220 | |
調(diào)焦方式 | 手動調(diào)焦(粗調(diào)焦:100mm/rev、微調(diào)焦:0.1mm/rev) | ||||||
測量方式 | 線性編碼器(2軸型:X/Y軸、3軸型:X/Y/Z軸) | ||||||
分辨率 | 0.001/0.0005/0.0001mm | ||||||
測量精度 | XY軸:(2.5+2.0L)UM,L為無負(fù)載測量長度,JIS B7153 | ||||||
指示精度 | Z軸:(5+0.04L)UM.L為長度,JIS B7153 | ||||||
浮動功能 | 帶有快速斷開功能的X和Y軸 | ||||||
XY工作臺臺面尺寸mm | 280×280 | 280×280 | 350×280 | 410×342 | 510×342 | 610×342 | |
載物玻璃有效尺寸mm | 180×180 | 180×180 | 250×150 | 270×240 | 370×240 | 440×240 | |
旋轉(zhuǎn)功能 | - | - | - | ±5°(左) | ±5°(左) | ±3°(左) | |
zui大工件重量kg | 10 | 10 | 10 | 20 | 20 | 15 | |
zui大工件高度mm | 150 | 150 | 150 | 220 | 220 | 220 |