感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過 隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測量膜片兩側(cè)。壓力變送器是由測量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個電容器。 當(dāng)兩側(cè)壓力不*時,致使測量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側(cè)電容量就不等,通過振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié),轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號。
擴(kuò)散硅壓力變送器的技術(shù)參數(shù): 精度等級:0.25級基本誤差±0.25% 非線性誤差:0.3級≤±0.3%FS 滯后誤差:≤±0.3%FS 輸出特性: ①0-10mA輸出,負(fù)載電阻0-1.5KΩ ②4-20mA輸出,負(fù)載電阻0-600Ω ③恒流輸出內(nèi)阻大于10MΩ ④二線制4-20mA輸出:標(biāo)準(zhǔn)供電DC-24V 防爆標(biāo)志:(RPT-Ⅲ):Exia Ⅱ CT4-6
擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理:壓力變送器的核心是一個擴(kuò)散硅敏感元件,它是在硅基片上采用離子注入并經(jīng)激光修正制成惠斯登電橋,過程壓力作用于傳感器的隔離膜片上使膜片產(chǎn)生位移,通過膜盒內(nèi)的硅油壓力傳遞到硅基片上,同時參考端的壓力(大氣壓、絕壓或密封壓)作用于硅片的另一測,這樣在硅片的兩邊就加上了一個差壓,差壓在硅片上產(chǎn)生了一個應(yīng)力場,使惠斯登電橋的四支電阻,有兩支因拉伸而阻值變小,另外兩支因壓縮而阻值變大,變化量為Δ R,橋臂阻值的變化使電橋失去平衡這樣就產(chǎn)生了一個與壓力成正比的電壓輸出信號。