低溫冷卻液循環(huán)泵再生的意義
低溫泵在當(dāng)今生產(chǎn)研究過程中應(yīng)用廣泛,但其每工作一段時間后都需要進(jìn)行“再生”,所需時間長,泵效率低。本文對一種低溫泵的吸附陣結(jié)構(gòu)分析并設(shè)計(jì)了一種結(jié)合自動控制功能的快速再生加熱系統(tǒng),該系統(tǒng)由單片機(jī)編程控制,自動化程度高,再生時間短,使用方便,為國內(nèi)低溫泵快速再生環(huán)節(jié)的發(fā)展提供借鑒。
低溫冷卻液循環(huán)泵再生的意義
低溫泵是一種利用低溫表面來冷凝、吸附和捕集氣體的真空獲得設(shè)備,它具有潔凈無油、抽速高等優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體、集成電路和空間技術(shù)研究方面應(yīng)用廣泛。由于低溫泵采用冷頭吸附,工作一段時間后,冷頭被氣體凝結(jié)的固體所覆蓋,表面溫度升高,對氣體吸附作用減弱甚至停止,失去抽氣作用,因此實(shí)際使用時,每過一段時間就需要對泵進(jìn)行加熱,以去除凝結(jié)在冷頭上的固態(tài)氣體,即所謂的“再生”。
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