私人定制 該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，價格需電議，*
仁荷微電子科技有限公司主要從事質(zhì)量流量器的研制、開發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計、加工等相關(guān)的服務(wù)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測量儀器、氣體工藝解決方案和服務(wù)支持方案。本公司產(chǎn)品INHA氣體質(zhì)量流量控制器 廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體、石油、化工、醫(yī)療、電子及微電子、半導(dǎo)體、太陽能光伏、各類實驗室、研究所、生物醫(yī)藥、標準檢測等各類*領(lǐng)域，為客戶提供各種氣體管道輸送系統(tǒng)的全面服務(wù)。深受廣大客戶的肯定及認同。

我公司生產(chǎn)的INHA氣體質(zhì)量流量控制器所使用的技術(shù)全由我們*技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個部件都有我們自己設(shè)計制作，且已取得了多項技術(shù)申請 INHA氣體質(zhì)量流量控制器每一個部件我們都以精益求精的質(zhì)量服務(wù)廣大客戶，讓客戶體驗到自動化流量控制設(shè)備帶來的改變，為現(xiàn)有的產(chǎn)品技術(shù)升級提供基礎(chǔ)服務(wù)。 致力于為客戶開發(fā)“生產(chǎn)工藝*化和成本化”的解決方案及相關(guān)產(chǎn)品。并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。

產(chǎn)品優(yōu)勢：
本公司自主開發(fā)研制的產(chǎn)品質(zhì)量流量計，是一種*的智能精密質(zhì)量流量測量儀表?？芍苯佑脕頊y量管道中介質(zhì)的質(zhì)量流量及總量、體積流量及總量、介質(zhì)的密度、溫度、溶液的濃度以及較均勻混合的兩種液體各自的濃度等參數(shù)。 該流量計即使在惡劣的工作環(huán)境下也能表現(xiàn)出優(yōu)異的性能。對工況條件也沒有苛刻的要求。具有抗*力強，測量精度高、量程比大、工作穩(wěn)定可靠、對安裝要求低、對流體狀態(tài)要求低，壓力損失小等優(yōu)點，且易清洗、具備自排空功能；其基本技術(shù)指標已達到*水平， 每臺傳感器都由不銹鋼材料制造，變送器的多種輸出能滿足您的各種需求。我公司生產(chǎn)的產(chǎn)品所使用的技術(shù)全由我們*技術(shù)，具有自主知識產(chǎn)權(quán)，產(chǎn)品的每一個部件都有我們自己設(shè)計制作，且已取得了多項技術(shù)申請
MF系列

MF-50/100/200C   MF-100/200M
MF產(chǎn)品系列特點：
有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如三氯化硼、*、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品zui小流量范圍可達0~10sccm，zui大流量范圍可達0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~（量程比為50:1）。
——耐高壓（zui大工作壓力可達100bar）
——響應(yīng)時間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標準質(zhì)量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優(yōu)惠的價格性價比
——準確率高
——穩(wěn)定的流量控制
——壓力范圍廣

用途和特點
INHA氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結(jié)構(gòu)

氣體質(zhì)量流量計由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無需溫度壓力補償）。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大，放大后的流量檢測電壓與設(shè)定電壓進行比較，再將差值信號放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）

主要技術(shù)指標

編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm 
2 準確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應(yīng)時間 ≤2sec（特別要求時：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc   350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程