特點(diǎn)：
- 測(cè)量及控制氣體流量從4sccm（smlm）低至0.1sccm(smlm)
- 數(shù)字性能
- Dial-A-Gas多氣體切換性能為客戶提供10中不同氣體的測(cè)量及控制
- 支持?jǐn)?shù)字通訊
- MODBUS
- Profibus DP
- FF
- Device Net (pending)
- Compod控制模塊可選流量系統(tǒng)和過(guò)程控制
- 所有的控制功能都可以通過(guò)PC或者工作站實(shí)現(xiàn)。
- 316不銹鋼的結(jié)構(gòu)適用于所有清潔氣體包括有毒和腐蝕性氣體。
- 占地面積小，安裝更為方便。
- 單邊電源輸入降低了安裝成本及復(fù)雜性。
- 每一臺(tái)Micro-Trak儀表都包括：
- RS-232通訊
- 模擬通訊
- 適用于Windows操作系統(tǒng)的軟件。
- 源代碼
- 標(biāo)定證書(shū)
- 電氣或電纜
性能參數(shù)：
- 精度：
- 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定：±1.0%滿量程及工作條件下的線性度（100M在201-300slpm時(shí)精度為2%的滿量程）
- Dial-A-Gas®:±1.0%的滿量程（所有內(nèi)置的10種氣體）
- 重復(fù)性：±0.2%的滿量程
- 溫度系數(shù)：±0.025%的滿量程每°F（0.05%的滿量程°C）或更小
- 壓力系數(shù)：±0.01%的滿量程每psi（0.15%的滿量程bar）或更小
- 響應(yīng)時(shí)間：
- 由安裝總體積決定。
工作條件：
氣體：可測(cè)量及控制所有清潔氣體包括腐蝕性和有毒氣體，訂購(gòu)時(shí)請(qǐng)指明。
以下表格中的10種氣體組成了Dial-A-Gas,表格中的氣體可以用其他氣體替代，zui多可替換9種氣體，空氣需要保留。
流量范圍760mm汞柱，21°C（70°F）下的氮?dú)饬髁?，用其他單位表示的范圍也可以提供（例如：nlpm,scfh,nm3/h,kg/h）
氣體和環(huán)境溫度：
32到122°F（0到50°C）
標(biāo)準(zhǔn)氣體壓力：
zui大壓力500psig（34.5barg），爆炸測(cè)試可高達(dá)750psig（51.7barg）
高壓：
zui大壓力5000psig（333barg），爆炸測(cè)試可高達(dá)7500psig(500)barg
泄露參數(shù)：
5X10-9atm cc/sec氦氣或更低
控制范圍：
2-滿量程，1.9%時(shí)自行切斷
密封材料:
316不銹鋼或相同規(guī)格的不銹鋼，416不銹鋼，O-型密封圈或者標(biāo)準(zhǔn)底座，也可提供其他材料（請(qǐng)咨詢廠家）。
高壓型號(hào)：O-型圈和尼龍底座
流過(guò)儀表的壓降：
0.36PSI(24.5mbar)
控制儀所要求的壓差:
30psi(2040mbar)較好
21°C，1psi(68mbar)zui小，出口壓力為環(huán)境壓力。
電源要求：（電壓噪聲波紋峰值與峰值之間不超過(guò)100mV）
質(zhì)量流量計(jì)：15到24VDC±10%(zui大130mA)
質(zhì)量流量控制器（C101）:24VDC10%±10%(規(guī)定400mA)
輸出信號(hào)：
模擬：
線性4-20mA,500歐姆zui大環(huán)路電阻和下列之一（用戶可選）
線性0-5VDC，1000歐姆zui小負(fù)載電阻
線性0-10VDC，1000歐姆zui小負(fù)載電阻
線性1-5VDC，1000歐姆zui小負(fù)載電阻
數(shù)字：
RS-232，Pilot Module顯示可選。
數(shù)字通訊：
RS-232，RS-485可選
Profibus DP
FF總線
DeviceNet®pending®
RS-485與Modbus RTU通信協(xié)議允許多點(diǎn)數(shù)字聯(lián)網(wǎng)
LCD顯示可選
內(nèi)部氣體流量累加器和可調(diào)脈沖輸出
兩個(gè)數(shù)字輸出繼電器和一個(gè)模擬輸入可以由用戶配置MODBUS或包括多種過(guò)程控制軟件
