RPS251125122513硅諧振壓力傳感器利用諧振元件把被測(cè)壓力轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)的壓力傳感器。采用硅諧振技術(shù)，*的實(shí)驗(yàn)證明：將硅諧振技術(shù)運(yùn)用于壓力傳感器中能獲得很高的穩(wěn)定性。
RPS251125122513硅諧振壓力傳感器特點(diǎn)：
微機(jī)械處理單晶硅，可以提高穩(wěn)定性和再現(xiàn)性，消除滯后現(xiàn)象。
溫度的影響是其他硅技術(shù)(10 ppm/℃)的十分之一弱，因此即使是條件zui苛刻的過程應(yīng)用中都可以確保出色的穩(wěn)定性。相比模擬傳感器，硅諧振傳感器輸出可以產(chǎn)生更高的信噪比。硅諧振傳感器的輸出至少是其前任產(chǎn)品壓阻式硅傳感器的四倍。溫度和靜壓產(chǎn)生的誤差在整體輸出中可忽略不計(jì)。
橫河電機(jī)DPharp壓力變送器和MT100/200數(shù)字壓力計(jì)中應(yīng)用了這一*的傳感器技術(shù)。
應(yīng)用包括：
空氣數(shù)據(jù)試驗(yàn)系統(tǒng)
環(huán)境控制系統(tǒng)
液壓控制系統(tǒng)
飛行試驗(yàn)
地面試驗(yàn)
航空電子設(shè)備的地面支持設(shè)施
技術(shù)參數(shù)：
• 高精度，±0.01% FS（在補(bǔ)償溫度范圍內(nèi)）
•高度穩(wěn)定，±100 ppm FS/年
• 壓力范圍從2 bar（30 psi）至 70 bar（1000 psi），壓力
•溫度范圍大， -40 °C 至+85 °C（-40 °F至185 °F）
• 采用介質(zhì)隔離結(jié)構(gòu)，適用于惡劣環(huán)境
• 多輸出配置，TTL和二極管，RS-232和RS-485
