壓電納米級精密定位臺(tái)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的掃描臺(tái),平臺(tái)內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu),補(bǔ)償量小,確保了平臺(tái)的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性。平臺(tái)內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋,定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級,定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級。中空式超薄設(shè)計(jì),且*通孔較大,可更好的集成于顯微及掃描系統(tǒng)中。
壓電納米級精密定位臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域
◆表面結(jié)構(gòu)分析;
◆自動(dòng)對焦系統(tǒng);
◆共焦顯微鏡;
◆掃描干涉儀;
主要特點(diǎn)
◆高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)3倍速度:<4ms的階躍穩(wěn)定時(shí)間和100μm的閉環(huán)位移控制;600Hz的響應(yīng)頻率;20N/μm的剛度
◆裝備雙傳感器技術(shù):在不同的負(fù)載下無需重新校準(zhǔn);*的機(jī)械帶寬;
◆的ZSY納米傳感器定位性能:0.1nm的定位噪音;0.01%的線性度;0.005%的剩余磁滯;
◆免工具安裝適配器;
◆超級不脹鋼結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)獲得*的聚焦穩(wěn)定性;
技術(shù)數(shù)據(jù):
型號 Model No. | PSVL36-100U-S | ||
軸 Axes | Z | ||
伺服特性 Servo | SG | ||
行程范圍 Travel range (@120V) | 閉環(huán) Closed loop | 80μm | |
開環(huán) Open loop | 80μm | ||
分辨率 Resolution | 5nm | ||
重復(fù)定位精度 Repeatability | 0.05%F.S. | ||
線性度 Linearity | 0.2% | ||
俯仰/偏航/滾動(dòng) Pitching/Yawing/Rolling | 1” / 2” / 1” | ||
承載能力 Load capacity | 12N | ||
諧振頻率 Resonant frequency | 0g | 300Hz | |
剛度 Stiffness | 0.3N/μm | ||
靜電容量 Capacitance | 1.6μF | ||
線纜長度 Cable length | 1.5m | ||
尺寸(LxH) Dimensions | 36*36*20mm | ||
重量 Weight | 80g | ||
本體材質(zhì) Body material | 鋼/鋁(B) Steel/Aluminum |
表面處理:白色(W)/黑色(B) Surface treatment :[(W)White alumite /(B)Black alumite ]