芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺 P16壓電掃描臺為XY軸平移掃描臺，機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，中心通孔孔徑為20mm，該系列掃描臺有50μm與100μm兩種規(guī)格行程 可選，開環(huán)閉環(huán)可選。方形移動臺面，便于與外部機(jī)械結(jié)構(gòu)安裝連接。
P16壓電掃描臺特性
•大位移100μm
• 大承載1.5kg
• 通孔尺寸：Ø20mm
• 閉環(huán)重復(fù)定位精度高 • 開環(huán)閉環(huán)可選
剛度大、諧振頻率高、負(fù)載能力大
P16系列壓電掃描臺，采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，內(nèi)置高性 能壓電陶瓷，兩個規(guī)格型號掃描臺分別可實(shí)現(xiàn)50μm與100μm 的運(yùn)動行程，一體式結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)XY軸運(yùn)動無耦合，優(yōu)異的結(jié)構(gòu) 可以承載1.5kg的負(fù)載，空載諧振頻率達(dá)400Hz。
P16.XY100版本為中心對稱運(yùn)動方式，需配套帶有一通道 恒壓的三通道壓電控制器。
P16二維壓電掃描臺中心通孔尺寸Ø20mm，該系列壓電 掃描臺以其小體積、大負(fù)載、高動態(tài)等特性廣泛應(yīng)用于顯微成 像等領(lǐng)域。
芯明天放大機(jī)構(gòu)式壓電掃描臺P16壓電掃描臺典型應(yīng)用
• 顯微成像 • 表面檢測
• 干涉/計(jì)量 • 精密定位
• 光學(xué) • 微操作
應(yīng)用實(shí)例
P16.XY二維壓電掃描臺以其大承載、高頻率等特點(diǎn)，應(yīng)用于光 路調(diào)整實(shí)驗(yàn)中，帶載大鏡架做XY軸精密運(yùn)動。
P16壓電掃描臺技術(shù)參數(shù)：
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型號 |
尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) |
P16.XY50S P16.XY50K |
P16.XY100S P16.XY100K |
單位 |
| 運(yùn)動自由度 | X、Y | X、Y |
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| 標(biāo)稱行程范圍（0~120V） | 40/軸 | 80或±40/軸 | μm±20% | |
| 大行程范圍（-20~150V） | 55/軸 | 100或±50/軸 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- | SGS/- |
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| 通孔尺寸 | Ø20 | Ø20 | mm | |
| 閉/開環(huán)分辨率 | 10/5 | 10/5 | nm | |
| 閉環(huán)線性度 | 0.4/- | 0.4/- | %F.S. | |
| 閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.1/- | 0.1/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <20 | <25 | µrad | |
| 推/拉力 | 30/10 | 30/30 | N | |
| 運(yùn)動方向剛度 | X0.5/Y0.5 | X0.5/Y0.5 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | X200/Y200 | X400/Y400 | Hz±20% | |
| 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 10/0.8 | 10/1.6 | ms±20% | |
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閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | 100 |
Hz±20% |
| 行程 | 20 | 40 | ||
| 大承載 | 1.5 | 1.5 | kg | |
| 靜電容量 | 1.8/軸 | 3.6/軸 | μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋼、鋁 | 鋼、鋁 |
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| 重量 | 200 | 220 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
