非接觸式硅片厚度測量儀 光學(xué)儀器
非接觸式硅片厚度測量儀SIT-200由精確可調(diào)激光光源,聚焦傳感器,光學(xué)接收器組成。波長掃描光聚焦照射到目標上,由目標表面和背面反射光干涉形成干涉圖案,經(jīng)過聚焦傳感器后由光學(xué)探測器進行檢測。
SIT-200產(chǎn)品特點:
全光學(xué),非接觸硅片厚度測試
高動態(tài)范圍測量粗糙表面
濕法刻蝕過程中實時測量
高靈敏度 高精度 快速測量 遠程控制
產(chǎn)品參數(shù):
測量目標 | 硅片 |
測量厚度 | 10-500μm |
光源 | 1515-1585nm掃描 |
功率 | 0.6mw,Class1 |
指示光源 | 紅光,Class1M |
測量時間 | 20ms |
重復(fù)性 | 0.1μm |
輸出監(jiān)控 | 干擾信號(電學(xué)) |
PC接口 | 網(wǎng)口 |
供電 | 100-240V,50/60Hz |
尺寸 | 364 x 147 x 391mm |
重量 | 9kg |
非接觸式硅片厚度測量儀SIT-200