工作原理
•流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。
•將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大,放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較,再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)定電源,3位半數(shù)字電壓表,設定電位器,外設、內設轉換和三位閥控開關等。
•控制器輸出的流量栓檢測電壓與流過通道的質量成正比,滿量程(F.S)流量檢測輸出電+5V。氣體質量流量控制器的流量控制范圍是(2~100)%F.S(程比為50:1)
· 主要技術指標
· 編號 項目 MF-200C MF-200M
1 流量規(guī)格(N2) 10sccm~30slpm
2 準確度 ±1%F.S(Full Scale)
3 重復精度 ±0.25%F.S(Full Scale)
4 響應時間 ≤2sec(特別要求時:≤1sec)
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃~50℃
7 輸入輸出信號 0~5V 0~5V or 4~20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2~100%滿量程