布魯克斯氣體質(zhì)量流量控制器和流量計(jì)廣泛應(yīng)用于:真空鍍膜設(shè)備、光電產(chǎn)業(yè)到工業(yè)工具的表面鍍膜、SPUTTER磁控濺射臺(tái)、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等離子刻蝕、離子注入,直拉式晶爐,精密半導(dǎo)體、燃料電池、氣調(diào)儲(chǔ)存保鮮相關(guān)設(shè)備、生物反應(yīng)器、生物過(guò)程控制器、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所、食品及制藥產(chǎn)業(yè)、醫(yī)療設(shè)備、氣相色譜儀等相關(guān)行業(yè)。?數(shù)模橡膠密封;流量范圍:0.003-30 slpm;耐壓:100 Bar精度:±1.0% of rate(20%-**** FS);±0.2% FS(below 20% FS);±1.0% of FS(1100-2500 slpm)
- DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
- 按照半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)對(duì)高性能組件進(jìn)行七次連續(xù)測(cè)試以確保其可靠性
- 表面積和未吹掃體積更小的全金屬耐腐蝕流路可確保流路在吹掃步驟更快干燥
- MultiFlo™ 技術(shù)可在 60 秒內(nèi)完成新過(guò)程氣體和/或量程的設(shè)定操作 – 不再需要拆除并校準(zhǔn) MFC
- *零點(diǎn)穩(wěn)定性,每年變動(dòng)小于滿量程的 ± 0.5%
- 穩(wěn)定時(shí)間:500 ms - <1 秒
- 滿量程流速高達(dá) 300 slpm
- 全金屬密封流路: Ra 表面處理的流路
- 耐腐蝕 Hastelloy® T-Rise 傳感器可提升高溫下測(cè)量結(jié)果的可重現(xiàn)性
- MultiFlo™ 氣體和量程設(shè)定功能 — 一臺(tái)設(shè)備即可滿足數(shù)千種氣體類型和各種量程組合的需求,無(wú)需從氣路上拆除 MFC 并且不影響精度
- 本地顯示屏
- 可選 SDS 氣體輸送
- DeviceNet™、RS-485 L-協(xié)議和模擬接口
- 半導(dǎo)體蝕刻工具
- 薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(CVD、MOCVD、PECVD、ALD)
- 物理氣相沉積 (PVD) 系統(tǒng)
- 外延工藝系統(tǒng)