干式螺桿真空泵優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)
干式螺桿真空泵是主要是利用一對(duì)螺桿,其特點(diǎn)是兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,
安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,所以使得干式螺桿真空泵工作時(shí),
相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽
及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高。但是在我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口,價(jià)格非常昂貴。
干式螺桿真空泵,它利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備。
它的優(yōu)勢(shì)彌補(bǔ)了油封式真空泵的不足,我們都稱(chēng)之為油封式真空泵的升級(jí)版。
但是干式螺桿真空泵的造價(jià)也是它的不足之處。接下來(lái)主要介紹它的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn):
干式螺桿真空泵的優(yōu)點(diǎn)
1、工作腔及螺桿轉(zhuǎn)子表面有防腐涂層,可適應(yīng)惡劣工況
2、氣體在泵內(nèi)無(wú)壓縮,適宜抽取可凝性氣體
3、不耗油,無(wú)滴漏
4、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)方便。
5、被抽氣體直接排出泵體,不污染水,無(wú)環(huán)保壓力,氣體回收更便捷。
干式螺桿真空泵的缺點(diǎn)
1、由于螺桿泵加工難度大,我國(guó)使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口,價(jià)格非常昂貴。
2、不適于抽除含有爆炸性的氣體。
3、不適于抽除含氧過(guò)高的氣體。
*鎰圣葉片泵VPC-FB-40、VHO-F-15
油泵產(chǎn)品特性:
1.省馬力、低噪音。
2.不易生熱、耐磨耗。
3.高容積效率。
*鎰圣葉片泵VPC-FB-40、VHO-F-15
隨著我國(guó)工業(yè)界的發(fā)展,在半導(dǎo)體工業(yè)、液晶顯示器等工藝制造中,
對(duì)清潔真空環(huán)境的要求越來(lái)越高,而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。
螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單緊湊、抽氣腔元件無(wú)摩擦、壽命長(zhǎng)、
能耗低、無(wú)油污染等優(yōu)點(diǎn),得到越來(lái)越多制造和應(yīng)用單位的重視,在干式真空泵市場(chǎng)中占有重要的地位。
在歐美
和日本等發(fā)達(dá)國(guó)家,螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來(lái)越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。
螺桿真空泵的特點(diǎn)與應(yīng)用
1、概述
真空獲得設(shè)備是一個(gè)量大面廣的產(chǎn)品,它是真空工程配套*的基礎(chǔ)元件。
近年來(lái),隨著真空技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域的不斷擴(kuò)大,各種真空獲得設(shè)備增長(zhǎng)亦非常迅速。
為滿足真空應(yīng)用發(fā)展的需要,特別是老產(chǎn)品不斷更新,新產(chǎn)品不斷出現(xiàn),
真空獲得設(shè)備的發(fā)展正在進(jìn)入一個(gè)新的時(shí)代。其特點(diǎn)是:降低泵的振動(dòng)和噪聲,
提高*運(yùn)行的可靠性,處理大量可凝性和揮發(fā)性氣體,降低能耗和運(yùn)行成本,
消除廢液處理和對(duì)環(huán)境的污染;要求耐腐蝕,耐粉塵以及獲得清潔、無(wú)油的真空環(huán)境等。
根據(jù)上述要求迫使真空獲得設(shè)備制造廠家不斷改進(jìn)老產(chǎn)品的特性。
如滑閥泵具有抽速大、性能穩(wěn)定、經(jīng)久耐用等特點(diǎn),
但它的運(yùn)動(dòng)部件的慣性力和慣性力矩所產(chǎn)生的振動(dòng)一直引起人們的注意;
如美國(guó)KINNEY 公司研制出三缸結(jié)構(gòu)的滑閥泵,可實(shí)現(xiàn)滑閥組件自身平衡,
降低了泵的振動(dòng)與噪聲,這種三缸內(nèi)平衡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可使滑閥泵的安裝無(wú)需地腳螺栓固定,
無(wú)需特殊的地基,可以直接安放在任何能支撐其重量的地面或支架上,
因而大大方便了用戶的使用。又如羅茨泵在清潔或腐蝕性工藝中的應(yīng)用,
在半導(dǎo)體、平板顯示、薄膜太陽(yáng)能電池以及其他工況條件非??量痰幕?、
制藥等行業(yè),大都采用羅茨真空泵與干式真空泵組成的真空機(jī)組。
一方面可以減少干泵尺寸,提高機(jī)組在中真空范圍的抽速,
另外極限真空度也能提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。根據(jù)羅茨泵的抽氣機(jī)理,
從原則上來(lái)說(shuō)應(yīng)該是無(wú)油的,但是羅茨泵的轉(zhuǎn)子必須由軸承來(lái)支撐和精密的同步齒輪來(lái)傳動(dòng),
這些軸承和齒輪均需要潤(rùn)滑系統(tǒng)。當(dāng)真空系統(tǒng)抽除腐蝕性氣體或蒸汽時(shí),
潤(rùn)滑油亦會(huì)受到侵蝕。美國(guó)Tuthill 羅茨泵的密封裝置有五點(diǎn)機(jī)械密封(KMBD 系列),
即除了在電機(jī)的輸入端采用機(jī)械密封外,其余四個(gè)機(jī)械密封都用來(lái)作為泵腔與油箱之間的密封。
這種全部是機(jī)械密封的羅茨真空泵特別適合于在工藝氣體腐蝕性很強(qiáng)的場(chǎng)合應(yīng)用。為了防腐蝕,
這種羅茨泵的內(nèi)部凡是接觸到工藝氣體的表面都要經(jīng)過(guò)涂層處理(Ni 0.076 mm+Cr 0.005 mm),
所有密封圈材料為全氟橡膠。