一、brooks氣體質(zhì)量流量計(jì)概覽
Brooks的數(shù)字與模擬熱式質(zhì)量流量控制器具有業(yè)界的性能—我們的許多產(chǎn)品都已連續(xù)工作了20年以上。我們的新型熱式質(zhì)量流量設(shè)備在響應(yīng)時(shí)間、精度、可重復(fù)性、調(diào)節(jié)比及自診斷方面均具有顯著的優(yōu)勢。
我們的熱式質(zhì)量流量產(chǎn)品還通過了多種防護(hù)(IP)認(rèn)證,適用于多種危險(xiǎn)場所。
二、brooks氣體質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品特點(diǎn)
· 較低的泄漏率
· 結(jié)構(gòu)緊湊
· 內(nèi)螺紋排氣口拋光處理
· 常閉閥
· 對(duì)安裝位置不敏感
三、brooks氣體質(zhì)量流量計(jì)技術(shù)參數(shù)
· 數(shù)字信號(hào)/模擬信號(hào)輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
· 介質(zhì):可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
· 流量范圍:0.03-30slpm
· 量程比:50:1
· 大工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
· 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重復(fù)性:0.25% of rate
· 響應(yīng)時(shí)間:1-3s
· 差壓要求:3-6bar(壓差要求與介質(zhì)、量程有關(guān))
· 操作溫度范圍:5~65℃
· 輸出信號(hào):0-5VDC或4-20mA
· 電源:+/-15V