P32系列Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，可實現(xiàn)大6mrad偏轉(zhuǎn)，Z軸40μm的直線運動。提供兩軸的高速精密偏轉(zhuǎn)運動及Z軸直線升降運動，直線運動的分辨率可達(dá)亞納米級、偏轉(zhuǎn)分辨率達(dá)亞微弧 度，響應(yīng)時間可達(dá)毫秒量級。
工作原理
P32偏轉(zhuǎn)鏡是基于3個壓電陶瓷機構(gòu)設(shè)計而成的，由三支壓 電陶瓷驅(qū)動，以120°角平分放置，采用坐標(biāo)變換，運動可以分不 同機構(gòu)之間控制。這種結(jié)構(gòu)設(shè)計除了可實現(xiàn)平臺的傾斜，也可實 現(xiàn)平臺Z向的直線移動，可以用于校正光學(xué)路徑長度。其中， A、B、C表示測量的3點處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡便計 算公式分別如下，
典型應(yīng)用
• 圖像處理與穩(wěn)定 • 光學(xué)捕獲
• 激光掃描與光束偏轉(zhuǎn) • 激光調(diào)諧
• 光過濾/光開關(guān) • 光學(xué)/光束穩(wěn)定
負(fù)載頻率曲線 推薦控制器
E01 | E00 | E70 |
頁碼 157 | 頁碼 157 | 頁碼 167 |
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3路輸出（1路恒壓） | 3路輸出（1路恒壓） | 3路輸出（1路恒壓） |
模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬與數(shù)字控制 |
開環(huán)閉環(huán) | 開環(huán)閉環(huán) | 開環(huán)閉環(huán) |
平均功率7W | 平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 |
高分辨率、高穩(wěn)定性及動態(tài)性
P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡體積緊湊，內(nèi)部裝配帶有預(yù)緊的高可靠性壓電 促動器，集成在復(fù)雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導(dǎo)向系統(tǒng)。壓電 促動器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統(tǒng)的壓電促動器提供更好的性 能及可靠性。
P32壓電偏轉(zhuǎn)鏡采用基于平行運動學(xué)的壓電陶瓷直驅(qū)式三腳架 結(jié)構(gòu)，數(shù)十億次的運動周期操作而*或性能下降，非常適合 工業(yè)應(yīng)用。
三腳架結(jié)構(gòu)設(shè)計在較大的溫度范圍內(nèi)提供優(yōu)化的角度穩(wěn)定 性。這種設(shè)計具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動態(tài)性能、 更快的響應(yīng)速度及更好的線性度等優(yōu)勢，也防止了偏振旋轉(zhuǎn)。
特性：
• θx, θy偏轉(zhuǎn)，Z軸升降 • 大偏轉(zhuǎn)范圍6mrad • 毫秒級響應(yīng)時間
• 閉環(huán)定位精度高
• 溫度穩(wěn)定性高
P32系列Z向/俯仰/偏轉(zhuǎn)鏡技術(shù)參數(shù)
型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | P32.ZT4S P32.ZT4K | 單位 |
運動自由度 | θx, θy, Z | ||
θx, θy標(biāo)稱偏轉(zhuǎn)角度（0~120V） | 5 | mrad±20% | |
Z向標(biāo)稱行程（0~120V） | 30 | μm±20% | |
θx, θy大偏轉(zhuǎn)角度（-20~150V） | 6 | mrad±20% | |
Z向大行程（-20~150V） | 40 | μm±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
閉/開環(huán)θx, θy偏轉(zhuǎn)分辨率 | 0.1/0.05 | μrad | |
閉/開環(huán)Z向直線分辨率 | 1/0.5 | nm | |
閉環(huán)線性度 | 0.05/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.02/- | %F.S. | |
空載諧振頻率（θx, θy） | 2 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 | 5/2 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 500 | Hz±20% |
行程 | 40 | ||
靜電容量 | 3.6/軸 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋼 | ||
重量 | 350 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
