RHESCA CSR-5000超薄膜附著強度測試儀 衡鵬供應(yīng)

RHESCA CSR-5000超薄膜附著強度測試儀
基于JIS R-3255標準，以MICRO SCRATCH法評價光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體擴散工程、表面改質(zhì)以及記憶媒體等各種用途的薄膜與基材，或薄膜與界面之間的密著力（附著強度）的超薄膜附著強度測試儀。為成膜研究與測試所*的測試設(shè)備。

CSR-5000超薄膜附著強度測試儀特點：
·CSR-5000采用高感度的能夠檢測出薄膜破壞的MICRO SCRATCH法，測試納米級別的薄膜的附著強度。
·可測量膜厚μm以下的超薄膜的密著強度。
·加熱環(huán)境下評價可能。
·鏡片等曲面測量可能。
·可以進行以特定荷重來評價的特定負荷測試
·測試部位的設(shè)定以及測試后的劃傷觀察等簡單易行
·測試不需要花費很多時間(1次測試約1～2分鐘)

RHESCA超薄膜附著強度測試儀CSR-5000規(guī)格
荷重檢出機構(gòu)            荷重印加范圍            1mN ～1500mN
                    荷重分解能            0.3mN
                    允許過負荷            300%FS
剝離檢出（垂直方向）    檢出信號             加速度信號
                    頻率范圍            20Hz ～10kHz
摩擦力檢出（水平方向）    檢出信號            速度信號
                    頻率范圍            20Hz ～10kHz
傳感器勵振機構(gòu)            勵振頻率            45Hz
                    勵振振幅            0·5·10·20·40·50·80·100μm
探針                    觸針形狀            Φ1.6×6.5mm
                    *材質(zhì) / *形狀    金剛石R 5?10?15?25?50?100μm
                    *材質(zhì) / *形狀    藍寶石R 250?500μm
Z 軸驅(qū)動機構(gòu)
※荷重印加方向            驅(qū)動方式             步進馬達驅(qū)動
                    驅(qū)動范圍            20mm
                    驅(qū)動分解能            0.5μm
                    驅(qū)動速度( 測試時)    0 ～20μm/s
                    驅(qū)動速度( 準備時)    1mm/s
試料臺XY軸移動機構(gòu)    驅(qū)動方式            千分尺手動調(diào)節(jié)
                    移動范圍            ±6.5mm
Data輸出方式                                    USB
尺寸及重量                                    W540×D520×H630 (37kg) 含顯微鏡
電源                                             AC100V ～240V

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