奧林巴斯測量顯微鏡 奧林巴斯測量顯微鏡
STM7顯微鏡具有優(yōu)良多用途性,能夠以亞微米精度實現(xiàn)對零部件和電氣組件的高性能三軸測量。無論待測樣品是大的還是小的,測量內(nèi)容是簡單的還是復(fù)雜的,測量人員是新手還是專家,奧林巴斯STM7系列就是能滿足您需求、為您量身打造的測量顯微鏡產(chǎn)品。
STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實現(xiàn)精確測量
STM7在設(shè)計上非常關(guān)注易用性
自動聚焦系統(tǒng)具有的重復(fù)性
擴寬觀察與測量范圍的配件
實現(xiàn)高級測量系統(tǒng)
STM7 通過整合光學(xué)顯微鏡和*的測量能力實現(xiàn)精確測量
多年顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗成就了優(yōu)異的觀察性能
STM7系列采用了當(dāng)前進光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠校正光學(xué)系統(tǒng)。因此,觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度,此外,像差也被*消除,以確保實現(xiàn)對微小細節(jié)的高精度測量。
明場圖像
暗場圖像
微分干涉圖像
偏光圖像
花崗巖精雕細琢而成的載物臺基座增強了測量的可靠性
STM7-LF FEM 分析
為了進一步保證測量精度,STM7系列采用了一個配備花崗巖基座的高度耐用和防振動的鏡架。由于花崗巖的高穩(wěn)定性,使測量可到達亞微米水平,同時確保程度地降低誤差。
作為高度測量的先鋒,繼續(xù)提供簡單易操作的高精度3軸測量
主動反射,共聚焦自動聚焦系統(tǒng)光路
隨著現(xiàn)代制造技術(shù)日益小型化和精密化,高精度測量也日趨重要——不僅是XY軸平面的測量,而且Z軸方向的高精度測量也成為必須。奧林巴斯成為成功開發(fā)了測量顯微鏡用采用主動反射、共聚焦方法的自動聚焦系統(tǒng)的公司,以此響應(yīng)了這種與日俱增的需求。
嚴格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì)可靠
測量顯微鏡溯源系統(tǒng)
奧林巴斯通過一個嚴格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的精確度。 并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。
STM7在設(shè)計上非常重視易用性
提供適合您樣品尺寸的載物臺
常見問題
短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。
目前為止,大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程,但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程,這樣的做法費事費時,效率不高。
由于可測量的范圍窄,無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上,以實現(xiàn)一次性同時測量。
STM7解決方案
共有四種*的正方形測量行程的載物臺可供選用(50 mm x 50 mm, 100 mm x 100?mm, 200 mm x 200 mm, 和300 mm x 300 mm)。 不管是大的樣品還是小的樣品,總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。
采用離合器系統(tǒng)可以在粗調(diào)和微調(diào)之間實現(xiàn)快速切換。具備了這種切換功能之后,載物臺也可以沿著X軸和Y軸方向迅速移動,并且可以在XY平面上自由穿梭。
300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程,這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實現(xiàn)大型樣品的全部測量,比如300 mm的晶圓和印刷電路板。
STM7-CS50
50mm x 50mm
STM7-CS100
100mm x 100mm
STM7-CS200
200 mm x 200 mm
STM7-CS300
300 mm x 300 mm
使用相同的顯微鏡進行低倍率和高倍率觀察
常見問題
大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以測量物鏡或金相物鏡,無法同時滿足多種觀察要求。
STM7解決方案
STM7可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡,而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后,便可使用金相物鏡。這意味著, STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式,無論是測量大型樣品還是精細樣品,或是表面高度差異大的樣品,STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇的觀察方法。
測量物鏡
由于測量物鏡具有非常長的工作距離,因此可以在對表面起伏較大的樣品進行聚焦的時候,無需擔(dān)心物鏡與樣品之間發(fā)生接觸。此外,借助測量物鏡的低倍率能力,可以一次觀察到較大的視場。
金相物鏡
明場圖像
暗場圖像
可以得到和光學(xué)顯微鏡相媲美的高倍率和高分辨率觀察能力。更重要的是,在明場觀察之外還可以對應(yīng)暗場,偏光和微分干涉觀察。
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手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩種鏡架可供選擇
STM7系列包括手動調(diào)焦和電動調(diào)焦兩個系列
聚焦控制提供手動型和電動型兩種可選方案。請根據(jù)樣品和測量內(nèi)容選擇符合您需求的機型,而不需要考慮載物臺的尺寸。所有的鏡架均內(nèi)置Z軸線性標(biāo)尺,各種型號STM7都可以對應(yīng)3軸測量。
手動Z軸調(diào)焦機型
手動Z軸調(diào)焦機型提供了的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕,可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。
電動Z軸調(diào)焦機型
使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性,并減少了進行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計使使用者可以以習(xí)慣的類似手動的方式進行操作,同時電動機型還可以配備自動聚焦單元。
一個具有突破性設(shè)計的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性
常見問題
其他功能需要添置額外的操作單元。操作者無法快速找到相應(yīng)的操作單元,因而顯著降低測量效率。
眾多操作裝置和電源箱、控制箱散布在主機的周圍,占用了寶貴的工作空間。
STM7解決方案
操作裝置
對于STM7系列,只要使用單一的操作裝置能夠執(zhí)行幾乎所有的測量顯微鏡操作,包括重置計數(shù)器、照明控制、調(diào)焦和自動聚焦等功能。為了提高效率和方便性,您可以將裝置放在任何想要放置的位置,并可以輕松地單手操作。
控制箱
用于手動Z軸調(diào)焦機型:
STM7-HS手動操作裝置
用于電動Z軸調(diào)焦機型:
STM7-MCZ電動操作裝置
各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置,這樣的設(shè)計可以程度地減少占用工作空間。
大大提高了觀察和測量效率的光源管理器
常見問題
傳統(tǒng)測量顯微鏡使用的模擬旋鈕調(diào)節(jié)方式不能實現(xiàn)光強的定量控制。 這樣每次測量時的光強無法保持*,導(dǎo)致測量值也發(fā)生變化。
使用傳統(tǒng)測量顯微鏡時,每次切換物鏡后都需要調(diào)節(jié)光強,這使得工作流程非常低效。
STM7解決方案
能夠定量掌握光源亮度的數(shù)字式顯示
STM7的光強可定量顯示,這樣就能保證始終在相同條件下實施觀察和測量。
物鏡切換時,無需手動調(diào)節(jié)光強
光強度管理器可以與編碼物鏡轉(zhuǎn)盤配置配套使用。帶編碼物鏡轉(zhuǎn)盤會自動識別目前使用的物鏡,結(jié)合光源管理器的預(yù)設(shè)值功能,可以為每個物鏡注冊照明方式和光強。這樣每當(dāng)切換物鏡后,可以自動調(diào)節(jié)光強和調(diào)整照明方式。象以前每次切換倍率后手動調(diào)節(jié)光強的操作,現(xiàn)在就可以省略了。
5x物鏡光強 50 | 20x物鏡光強 70 | 100x物鏡光強 120 |
可以放置在任意方便使用地方的可拆卸計數(shù)器,確保能隨時迅速地檢查測量結(jié)果和設(shè)備狀態(tài)。
常見問題
需要檢查諸如照明狀態(tài)等設(shè)備運行狀以及測量結(jié)果時,因為是在不同單元上顯示使操作變得非常繁瑣。
STM7解決方案
能一目了然確認當(dāng)前狀態(tài)的計數(shù)器
計數(shù)器帶有顯示設(shè)備狀態(tài)和設(shè)置的指示燈,可以簡單的實現(xiàn)對設(shè)備當(dāng)前設(shè)定狀態(tài)的確認。X、Y和Z軸的單位可以在0.1 μm和1 μm之間切換,此外,還可以在毫米、微米、英寸和密耳之間切換顯示單位。
可滿足個性化需求自由放置的可拆卸式計數(shù)器
無論是安裝在鏡架上還是放置在工作臺上,可拆卸式計數(shù)器都可以根據(jù)用戶的使用狀況和使用習(xí)慣放置在位置。當(dāng)用戶站著進行測量時,可以將計數(shù)器安裝在和觀察位置大致相同高度的鏡架一側(cè),以方便輕松的觀察和檢查結(jié)果。當(dāng)用戶通過數(shù)碼相機在顯示器上進行觀察和測量,或使用電動Z軸調(diào)焦機型時,只需將計數(shù)器和操作裝置放在工作臺上即可輕松地坐在椅子上進行作業(yè)。
計數(shù)器安裝在鏡架上
計數(shù)器放置在工作臺上
自動聚焦系統(tǒng)具有的重復(fù)性
實現(xiàn)更快、更簡單、更精確的高度測量
常見問題
進行目視測量時,不同的操作者會測得不同的高度測量值。此外,這種測量方法非常耗時,效率低下。
STM7解決方案
具有*的重復(fù)性、簡單且高度精確的聚焦系統(tǒng)
通過將圖案投影在視場范圍內(nèi),由操作者確認上下圖案的重合情況,奧林巴斯的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)實現(xiàn)了重復(fù)性高的高度測量操作。普通的目測觀察進行高度測量時,即使是看上去非常清晰的已經(jīng)*合焦的圖像,也會出現(xiàn)微小誤差。而使用STM7的聚焦導(dǎo)航系統(tǒng),只需匹配標(biāo)記便可進行測量,因此減少了操作者的主觀性對測量結(jié)果造成的影響。
目視高度測量
聚焦導(dǎo)航系統(tǒng)
焦點下方
焦點位置
焦點上方
自動聚焦的優(yōu)勢成就快速、高精度的高度測量
常見問題
進行目視測量時,不同的操作者得出的高度測量結(jié)果也會不一樣。
手動高度測量需要操作者反復(fù)進行移動載物臺,使用旋鈕調(diào)焦的操作,這使測量既耗時又低效。
很難對微小的物體聚焦,比如引線。
STM7解決方案
自動對焦單元:出色的再現(xiàn)性和聚焦速度
無論操作者的經(jīng)驗如何,使用STM7自動對焦單元均可以在時間內(nèi)實現(xiàn)高度精確的高度測量。即使是粗糙或傾斜的樣品表面,利用主動反射、共聚焦方法都可以實現(xiàn)穩(wěn)