一維放大式微動(dòng)工作臺(tái)通過(guò)柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行放大驅(qū)動(dòng)以實(shí)現(xiàn)無(wú)間隙無(wú)耦合的微位移傳動(dòng)，具有沿X軸方向的一維運(yùn)動(dòng)，行程從50μm至200μm。一維放大式微動(dòng)工作臺(tái)可集成電阻應(yīng)變片以實(shí)現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動(dòng)臺(tái)
主要參數(shù)
| MPT-1AN/RL050 | MPT-1AN/RL100 | MPT-1AN/RL200 | |
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | X | X | X |
| 行程范圍 (μm±10%) | 50 | 100 | 200 |
| 位移分辨率 (nm) | 5 | 10 | 20 |
重復(fù)定位精度 | -/50 | -/100 | -/200 |
| 運(yùn)動(dòng)方向大推力 (N) | 300 | 300 | 300 |
| 運(yùn)動(dòng)方向大拉力 (N) | 50 | 50 | 50 |
| 大負(fù)載 (Kg) | 1.5 | 1.5 | 1 |
| 固有頻率 (Hz) | 600 | 300 | 150 |
| 重量 (g±5%) | 600 | 850 | 1100 |
| 工作電壓 (V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作溫度范圍 (℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×C (mm) | 100×90 | 120×110 | 150×140 |
| 外型尺寸 K×J (mm) | 21×24.5 | 21×24.5 | 21×24.5 |
| 運(yùn)動(dòng)部分 B×D (mm) | 45×35 | 60×50 | 70×60 |
| 運(yùn)動(dòng)部分 E×F (mm) | 37×27 | 50×40 | 60×50 |
| 運(yùn)動(dòng)部分 G (mm) | 56 | 68 | 87 |
| 安裝尺寸 M×L (mm) | 4.5×8 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安裝尺寸 I | M4 | M4 | M4 |
開(kāi)環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào)：HPV-1C0150A0500;閉環(huán)工作臺(tái)*匹配電源型號(hào)：PPC-1CR0150
