Guardian EIES 控制器可編程自動化控制器-儀表網(wǎng)

公司介紹主營產(chǎn)品

深圳市萬德泉科技有限公司是一家集真空技術(shù)開發(fā)、應(yīng)用與貿(mào)易于一體的專業(yè)公司。產(chǎn)品廣泛運用于真空行業(yè)、鍍膜、太陽能、半導(dǎo)體、科學(xué)研究、電力行業(yè)、航空航天、*制造等領(lǐng)域。作為多家的真空設(shè)備及真空儀器供應(yīng)商的代理商，我們可以為客戶提供較佳的全套真空解決方案，解決客戶真空應(yīng)用的難題，并且使客戶的成本降到低。我們代理銷售的產(chǎn)品如下：

瑞士Inficon （英?？担?/span>膜厚控制儀及探頭、石英晶振片、真空計、檢漏儀、殘余氣體分析儀、真空閥門、真空連接件。
美國Agilent（安捷倫，原瓦里安）渦旋式干泵、分子泵、氦質(zhì)譜檢漏儀。
英國Edwards （愛德華）旋片泵、渦旋干式泵、分子泵、真空規(guī)管。
瑞士VAT插板閥、閘閥、蝶閥、角閥等全系列真空閥門。
日本Hitachi Metals(原Aera）質(zhì)量流量控制器。

美國MKS質(zhì)量流量控制器。
美國SRS 四級質(zhì)譜殘余氣體分析儀。

美國Keyhigh 陶瓷壓電閥。

韓國ONE C TECH低溫冷肼、壓縮機和冷媒銷售

美國Angstromsciences磁控濺射陰極、靶材、反應(yīng)氣體控制器。

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產(chǎn)品簡介在線詢價

產(chǎn)地	國產(chǎn)	加工定制	是

Guardian EIES 控制器可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范圍內(nèi)。它可以操作一個或兩個傳感器，多 8 個光輸入，并控制多 8 個沉積源，因此能夠同時沉積多 8 種材料。

Guardian EIES 控制器可編程自動化控制器產(chǎn)品詳情

Guardian EIES 控制器可將沉積速度控制在 0.1 到 10,000 Å/s 范圍內(nèi)。它可以操作一個或兩個傳感器，多 8 個光輸入，并控制多 8 個沉積源，因此能夠同時沉積多 8 種材料。Guardian EIES 控制器

是光伏模塊、有機發(fā)光二極管、光伏、超導(dǎo)薄膜以及分子束外延制造等應(yīng)用的理想之選。

Guardian Codeposition 系統(tǒng)基于電子碰撞發(fā)射光譜 (EIES)。通過運用 EIES，要沉積的材料在熱離子發(fā)射體的作用下生熱，從而產(chǎn)生光子。產(chǎn)生的光通過濾光器，到達(dá)光電倍增管 (PMT)檢測儀，光電倍增管檢測儀可以測量通過的波長的發(fā)射強度。然后 INFICON Guardian 控制器產(chǎn)生信號來控制該材料源。配備了合適濾光器的其它檢測儀可用于多種材料。

一套完整的 Guardian 系統(tǒng)至少包括一個傳感器、一個 PMT 檢測儀、一個濾光器、一個 Guardian 控制器單元以及一臺安裝了 Guardian 軟件的電腦（由用戶提供）。 EIES 通常用于控制多種材料的沉積，因此，大多數(shù) EIES 系統(tǒng)還包括其他傳感器、檢測器、光學(xué)器件（例如分裂器）以及 QCM，QCM 用于校準(zhǔn)或控制某些材料的沉積速率。如需關(guān)于典型系統(tǒng)的更多信息，請參閱下面的 Downloads（下載）選項卡中的《Guardian 配置指南》。

要配置 Guardian 共沉積系統(tǒng)，需要考慮以下幾點
沉積材料的初級和二級發(fā)射波長為多少？

如果不同材料的峰值過于相近，您可能需要監(jiān)控二級發(fā)射波長，二級波長的信號強度較弱。

在沉積過程中，真空室中存在哪些本底氣體？這些本底氣體的發(fā)射波長是多少？

如果本底氣體的發(fā)射干擾了沉積材料，則建議使用氣體補償傳感器。

對于特定發(fā)射光譜的原子種類， EIES 是為有效的。分子種類產(chǎn)生的發(fā)射光譜不穩(wěn)定或者過寬，無法準(zhǔn)確測量。不建議將 EIES 用于有機材料。各個具體應(yīng)用的 EIES 系統(tǒng)配置由以上因素及其他因素確定。

功能

監(jiān)控和控制多達(dá) 8 種材料的同時沉積過程
從 0.1 至 10,000 Å/s 的沉積速率
集成式 EIES 和 QCM 薄膜過程控制
12 個繼電器輸出和 16 個數(shù)字輸入
用于設(shè)置與操作的基于 Windows 的軟件
與 INFICON Sentinel^® 傳感器兼容

關(guān)鍵詞：傳感器發(fā)光二極管過程控制繼電器

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