1： LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正 (請預(yù)先所使用 的液體。)
?不能檢測含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會發(fā)生變化時，請預(yù)*行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2： LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 大值， 0.1Pa•s。有關(guān)高粘度的液體請預(yù)*行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296 為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
名稱 | 日本HORIBA微小液體質(zhì)量流量計 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型號 | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制范圍 | 5-F.S. | ||||
對象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度 *2 | 大值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi) (T98) | 2秒以內(nèi) (T98) | |||
使用環(huán)境溫度 *4 | 5-50℃ (15-45℃精度的確保) | ||||
溫度影響 Span | ±0.1%F.S./℃大值±1% | ||||
工作差壓值值 *5 | 大值. 5MPa (視為流量計) / 50-300kPa (with piezo 控制閥) | ||||
耐壓 | 10MPa (視為流量計) | ||||
壓力損失 | 大值. 500Pa | ||||
流量設(shè)定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動電源 | +15 V ±5%, 200 mA-15V ±5%, 200mA | ||||
外部泄漏規(guī)格 | 5×10-12Pa·m3/s(He) | ||||
接液部材質(zhì) | SUS316L, Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | ||
名稱 | 日本HORIBA微小液體質(zhì)量流量計 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
型號 | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
檢測控制范圍 | 5- F.S. | ||||
對象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
液體粘度 *2 | 大值. 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
重復(fù)性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||
響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi) (T98) | 2秒以內(nèi) (T98) | |||
使用環(huán)境溫度 *4 | 5?50℃ (15- 45℃精度的確保) | ||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃-大值±1% | ||||
工作差壓值 *5 | 0.05-0.3MPa | ||||
耐壓 | 1MPa | ||||
壓力損失 | ー | ||||
流量設(shè)定信號 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
流量輸出信號 | 模擬：0?5 VDC(小負(fù)荷電阻2kΩ) 數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
驅(qū)動電源 | +15 V ±5%, 200 mA?-15 V ±5%, 200 mA | ||||
外部泄漏規(guī)格 | PO 類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa?m3/s (He) | ||||
接液部材質(zhì) | PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA?MO 類型： SUS316L，Ni | ||||
標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VC | ||
