雙層潔凈無氧烘箱是可以適用于半導(dǎo)體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤,硬烤,電鍍工藝,雙層潔凈無氧烘箱采用了SUS304潔凈的不銹鋼材質(zhì),進(jìn)口的超高效H.E.P.A過濾器,自動開關(guān)的風(fēng)門結(jié)構(gòu),可以通過內(nèi)部不斷地循環(huán)過濾,不斷地過濾內(nèi)部的partical快速形成沒有氧氣的潔凈環(huán)境,機(jī)臺采用了大功率三相*的低震動馬達(dá),不銹鋼的渦輪扇葉,*設(shè)計(jì)的渦輪結(jié)構(gòu),結(jié)合了雙循環(huán)風(fēng)道,形成風(fēng)量均勻的循環(huán)熱風(fēng),實(shí)現(xiàn)了高度潔凈,溫度均勻的無氧的烘烤環(huán)境,確保了烘烤物料受熱均勻,沒有氧化現(xiàn)象的發(fā)生。