200/1200型復(fù)合質(zhì)譜分子泵技術(shù)參數(shù)表
型號 | 200/1200 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
抽氣速率(l/s) | 1200L/S | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
壓縮比N2 | >109 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
壓縮比H2 | >8×104 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
極限壓強(qiáng)(Pa) | <2×10-8 | <1×10-7 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
高真空法蘭 | LF200 | CF200 | |||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
排氣口法蘭 | KF40 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
啟動加速時(min) | <5min | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
電機(jī)轉(zhuǎn)速(n/min) | 24000n/min | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
小不平衡(mg) | 15mg | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
建議采用前級泵 | 機(jī)械泵8~15L/S | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
充油量(ml) | / | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
安裝方式 | 垂直±5° | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
冷卻方式 | 水冷或風(fēng)冷 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
冷卻水溫度 | <20℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
環(huán)境使用溫度(℃) | 風(fēng)冷<32℃ 水冷<40℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
泵體烘烤溫度(℃) | <100℃ | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
泵重量(kg) | 36kg | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
外形尺寸(mm) | Φ320×428 200/1200型復(fù)合質(zhì)譜分子泵技術(shù)參數(shù)表
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