單晶硅多晶硅行業(yè)烘箱單晶硅烘箱概念
單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
單晶硅多晶硅行業(yè)烘箱單晶硅烘箱特點(diǎn)
1,本系列單晶硅烘箱主要用于單晶硅與多晶硅清洗后的烘培、干燥方面的工藝處理。
2,本系列烘箱采用數(shù)顯溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度控制、控溫靈敏、操作簡便、性能可靠,數(shù)字直接顯 示出工作溫度,直觀易讀。
3,工作室溫度可在室溫至250℃之間任意恒溫;能自動(dòng)切斷電源,保護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品。
4,該設(shè)備具有超溫報(bào)警,恒溫計(jì)時(shí)功能。
單晶硅烘箱工作原理
■ 單晶硅烘箱箱體結(jié)構(gòu): 設(shè)計(jì)*,箱體采用數(shù)控機(jī)床加工成型,箱門采用*式,操作容易。內(nèi)膽采用SUS304不銹鋼板,外殼為A3板噴塑處理,更顯光潔、美觀。電路系統(tǒng)側(cè)采用門式開啟,方便維護(hù)和檢修。箱門閉合松緊能調(diào)節(jié),整體成型的硅橡膠門封圈,確保烘箱的密閉性。
■ 單晶硅烘箱控制執(zhí)行系統(tǒng): 溫度控制器采用觸摸按鍵、數(shù)顯LED顯示、PID智能控制儀表; Pt100鉑電阻測溫傳感器;
■ 單晶硅烘箱保護(hù)系統(tǒng): 整機(jī)保護(hù)系統(tǒng)由超溫保護(hù)及報(bào)警裝置構(gòu)成。保證了執(zhí)行元器件及試件的完好。
本公司提供以下尺寸、溫度等僅供參考,亦可根據(jù)客戶需求定制非標(biāo)尺寸:
型號 | 功率 | 電壓 | 工作溫度范圍 | 控溫靈敏度(℃ | 鼓風(fēng)功率 | 工作室尺寸MM | 外形尺寸MM | 容積 |
KW | V | ( ℃ ) | (℃) | W | 深*寬*高 | 深*寬*高 | L | |
1 | 2.8 | 220 | 20~250℃ | ±1℃ | 40 | 350*450*450 | 500*810*813 | 70 |
2 | 3.2 | 220 | 20~250℃ | ±1℃ | 40 | 450*550*550 | 600*910*913 | 136 |
3 | 4.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 180 | 500*600*750 | 650*960*1113 | 225 |
4 | 8.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 370 | 800*800*1000 | 1000*1170*1580 | 640 |
5 | 11.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 740 | 1000*1000*1000 | 1200*1370*1580 | 1000 |
6 | 14.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 750 | 1000*1200*1200 | 1200*1570*1780 | 1400 |
7 | 17.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 1500 | 1000*1200*1500 | 1200*1600*2100 | 1800 |
8 | 20.2 | 380 | 20~250℃ | ±1℃ | 2200 | 1200*1500*1500 | 1400*1900*2100 | 2700 |