Nα-1H氣體減壓器專(zhuān)為超高純度氣體,半導(dǎo)體用(毒,腐)氣體設(shè)計(jì),滿足超大規(guī)模集成電路的使用要求。產(chǎn)品依據(jù)嚴(yán)格的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)、清洗、生產(chǎn)、測(cè)試、包裝。
工作條件:
進(jìn)口壓力 | 25MPa |
出口壓力 | 0~0.2MPa,0~0.4MPa,0~0.6MPa |
原壓變動(dòng) | 每0.7MPa壓力變化0.005MPa |
溫度 | -40~+60℃ |
內(nèi)漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
外漏率 | ≤1×10-10Pa.M3/Sec.He |
內(nèi)表面粗糙度 | Ra≤0.1μm |
產(chǎn)品特點(diǎn):
適用于VMB & VMP
提供Hastelloy® 內(nèi)部件選項(xiàng)
內(nèi)表面電解拋光處理Ra≤0.1μm
對(duì)于CL2、N2O和NH3請(qǐng)選擇*配置
每臺(tái)減壓器進(jìn)行單獨(dú)的壓力測(cè)試、功能測(cè)試、氦質(zhì)譜泄漏測(cè)試和顆粒物檢測(cè)
無(wú)內(nèi)部彈簧,內(nèi)部死體積小,大大減小了顆粒物的存留
主要部件材料:
介質(zhì) | CL2 | N2O | NH3 | Standard |
體接觸部分 Wetted parts | ||||
閥體 Body | SUS316L(VIM+VAR) | |||
膜片 Diaphragm | SUS316L(VIM+VAR)/ Hastelloy® C-22 | |||
閥針 Poppet | SUS316L(VIM+VAR) | |||
密封墊 Seal | PFA | Vespel® | PTFE | PCTFE |
非氣體部接觸部分 Non-wetted parts | ||||
調(diào)節(jié)手柄 Handle | ABS | |||
閥蓋 Cap | SUS316L | |||
彈簧 Spring | SWP-A |