英富康QMG 700 分析質(zhì)譜儀
半導體制造技術的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒炇抑?，選擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限，推動工藝**，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。
英富康QMG 700 分析質(zhì)譜儀
半導體制造技術的快速發(fā)展有賴于靈敏而可靠的氣體分析解決方案。在工廠或?qū)嶒炇抑校x擇 INFICON QMG 700 分析質(zhì)譜儀以突破檢測極限，推動工藝**，提升工藝水平。QMG 700 的模塊化設計帶來的性能和適應性。利用 QMG 700 增強競爭優(yōu)勢，獲得出眾的測量能力。
根據(jù)具體的應用要求，選擇配制合適的離子源、濾質(zhì)器和射頻電源，可量身定制QMG 700。QMG 英富康QMG 700 分析質(zhì)譜儀700有超過九個數(shù)量級的動態(tài)測量量程，達到ppb 檢測量級，這種優(yōu)勢使其成為超高真空測量的理想選擇。QMG 700 對整個質(zhì)量范圍都有很高的分辨率，對較低的質(zhì)量可獲得更高的分辨率。對于某些*具挑戰(zhàn)性的測量應用，如同位素分析，氦和氘分離等，QMG 700是*的選擇。QMG 700 出色的*穩(wěn)定性可保證關鍵性的測量，有效控制您的工藝。
INFICON 在分析質(zhì)譜儀領域五十多年的歷史和遙遙*的技術，確保QMG 700 成為進**體分析的正確選擇。依賴 INFICON QMG 700 以及我們享譽世界的應用專長，您可獲得始終如一的高精度測量數(shù)據(jù)。
功能
- 質(zhì)量范圍選擇為 1-2048 amu
- 超過九個數(shù)量級的動態(tài)量程
- 極快的測量速度：0.125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar
涵蓋整個質(zhì)量范圍的高分辨率：質(zhì)量 1、2 和 3 可在 ppb 范圍內(nèi)清晰地分離
- 超過 10 個不同的離子源和離子光學組合
- 離散或連續(xù)倍增電極電子倍增器選件
- 用于正負離子以及中性粒子分析的離子計數(shù)前置放大器
- IO 選項：8 個模擬輸入/輸出和 32 個數(shù)字輸入/輸出
- 軟件功能強大，靈活實用且具友好的用戶界面
QMG 700 分析質(zhì)譜儀 (AMS) 是適合以下應用的成熟解決方案：
- 氣體排放質(zhì)譜分析
- 終點檢測
- 沉積材料監(jiān)控
- 二次離子質(zhì)譜分析
