德國KSI單探頭多用途超聲波掃描顯微鏡
型號:v300/v400E/v-700E/v-1000E
掃描速度蕞快蕞準(zhǔn)的超聲波掃描顯微鏡
超聲波掃描顯微鏡是利用超聲波對微觀物體進(jìn)行成像的無損檢測設(shè)備??蓪Ω鞣N材料、元器件內(nèi)部缺陷、空洞、氣泡、分層缺陷、雜質(zhì)、裂紋進(jìn)行非破壞性檢測;還可進(jìn)行涂鍍層結(jié)合質(zhì)量,內(nèi)部焊接質(zhì)量,鍵合層缺陷等檢測、空洞率計(jì)算等。
超聲波掃描顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域:
● 半導(dǎo)體電子行業(yè):半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
● 材料行業(yè):復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;
● 生物醫(yī)學(xué):活體細(xì)胞動態(tài)研究、骨骼、血管的研究等
超聲波掃描顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用:
● 晶圓面處分層缺陷
● 錫球、晶圓、或填膠中的開裂
● 晶圓的傾斜
● 各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)
超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢:
● 非破壞性、無損檢測材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)
● 可分層掃描、多層掃描
● 實(shí)施、直觀的圖像及分析
● 缺陷的測量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì)
● 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像
● 對人體是沒有傷害的
● 可檢測各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)
V系列單探頭多用途超聲波掃描顯微鏡
KSI v-系列的單探頭多用途超聲波掃描顯微鏡的新一代產(chǎn)品。全新研發(fā)的掃描器和新型換能器相結(jié)合,能大大提高掃描速度。與常規(guī)的SAM產(chǎn)品相比,凱斯安 v-系列的檢測效率能提高30%。大尺寸掃描區(qū)可實(shí)現(xiàn)對大型樣品的檢測,新型KSI v-系列機(jī)型創(chuàng)造出的性價(jià)比。
新型KSI v-系列的主要特點(diǎn):
● 掃描速度蕞高可達(dá)2000mm/s
● 與其它品牌機(jī)器相比掃描時(shí)間節(jié)省30%
● 新型的換能器
● 成像更清晰
● 有單探頭、雙探頭、四探頭、八探頭系統(tǒng),達(dá)到高效能
● 掃描范圍小可至200μm×200μm
● 掃描范圍大可達(dá)1000mm×700mm
● 帶寬達(dá)到550MHz
● 大放大倍數(shù):625倍
● 可以通過不同的掃描方式靈活應(yīng)用
● 通過Windows 7 GUI簡單操作
● 為中國用戶開發(fā)的簡體中文界面
● 性價(jià)比高
KSI V400E 多用途超聲波掃描顯微鏡
主要參數(shù):
● 該型號超聲波掃描顯微鏡系統(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線主流機(jī)型。
● 掃描速度蕞高可達(dá):1000mm/s 或 2000mm/s,兩種規(guī)格可選
● 與其它品牌機(jī)型相比掃描效率高30%
● 大掃描范圍:300mm x 300mm 或 400mm×400mm 或 400mm x 800mm,三種規(guī)格可選
● 射頻大帶寬:500MHz 或 550MHz,兩種規(guī)格可選
● 常規(guī)探頭 或 FCT低噪探頭,兩種規(guī)格可選
KSI v300失效分析實(shí)驗(yàn)室用聲學(xué)顯微鏡
機(jī)械掃描部分
● X/Y/Z軸驅(qū)動系統(tǒng)是步進(jìn)馬達(dá)
● X軸和Y軸的蕞高掃描速率是:1000mm/s
● 大掃描范圍:300mm×300mm
● X軸和Y軸的掃描精度:±0.25μm
● Z軸是由自鎖步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動
● Z軸升降行程:100mm
電子部分和電腦工作站
● 超聲脈沖發(fā)生和接收器帶寬:500MHz
● 模數(shù)轉(zhuǎn)換卡ADC 1GHz
● 聲學(xué)圖像大放大倍率400×
● 正版Microsoft Windows 操作系統(tǒng)
● Intel酷睿處理器
● 1000GB 7200rpm硬盤
● 22吋平板顯示器
軟件部分和掃描模式
● 點(diǎn)掃描(A-)
● 縱剖掃描(B-)
● 橫剖掃描(C-)
● 單配置多層橫剖掃描(X-)
● 分層缺陷著色
● 掃描圖像復(fù)位功能,輕松重構(gòu)超掃圖像
● 圖像分辨率大:32.000 x 32.000 (像素)
● 掃描圖像儲存格式:BMP、JPG、sam等各種圖像格式
● 缺陷尺寸測量工具
● 工件厚度測量估算
選件與客制件
● 圖像分析處理軟件包
● 專業(yè)3D聲學(xué)圖像處理軟件包
KSI v-700E 多用途超聲波掃描顯微鏡
主要參數(shù):
● 該型號超聲波掃描顯微鏡分析系統(tǒng),用于檢測大件樣品
● 大掃描速度:2000 mm/s
● 與其它品牌相比掃描效率高30%
● 大掃描范圍:700mm×600mm
● 小掃描范圍:200μm×200μm
● 帶寬:550MHz
● 大放大倍數(shù):625倍
● 新型FCT磚利換能器
KSI v-1000E 多用途超聲波掃描顯微鏡
主要參數(shù):
● 該型號超聲波掃描顯微鏡分析系統(tǒng),用于研發(fā)和生產(chǎn)部門檢測特大件樣品
● 大掃描速度:2000 mm/s
● 與其它品牌相比掃描效率高30%
● 大掃描范圍:1000mm×700mm
● 小掃描范圍:200μm×200μm
● 帶寬:550MHz
● 大放大倍數(shù):250倍
● 新型換能器
德國KSI單探頭多用途超聲波掃描顯微鏡