IC6 薄膜沉積控制器
INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、較穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下
Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度
支持多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共沉積
產(chǎn)品介紹
功能IC6 薄膜沉積控制器
- INFICON ModeLock 技術(shù)確保獲得、穩(wěn)定的速率和厚度測(cè)量分辨率，即使在速率極低的情況下
- Auto Z 技術(shù)通過(guò)自動(dòng)測(cè)定沉積材料的 Z 比值，可提高厚度測(cè)量的精度
- 支持多六個(gè)來(lái)源同時(shí)共沉積
- 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過(guò)程的進(jìn)展?fàn)顩r
- 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
- USB 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)功能可存儲(chǔ)屏幕截圖、配方存儲(chǔ)和數(shù)據(jù)記錄
- 強(qiáng)大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡(jiǎn)單或復(fù)雜的系統(tǒng)（使用可擴(kuò)展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器，14 TTL 輸出)，并充分利用邏輯功能（100 個(gè)邏輯語(yǔ)句）
- 6 個(gè)標(biāo)準(zhǔn) DAC 輸出和另外 6 個(gè)可選輸出用于來(lái)源控制、速率或厚度監(jiān)控
- 可容納多 50 個(gè)過(guò)程，每個(gè)過(guò)程 200 層，這些過(guò)程關(guān)聯(lián)到一起，總共可容納 10,000 層。
- 多路傳感器可平均分配為 8 個(gè)傳感器
- 4 米 XIU 選件能夠在大型系統(tǒng)中使用較長(zhǎng)的真空傳感器電纜
- 可選以太網(wǎng)通信
- 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
典型應(yīng)用IC6 薄膜沉積控制器
- 光學(xué)鍍膜
規(guī)格
| 類型 | IC6 | |
|---|---|---|
| 測(cè)量性能 | ||
| 分辨率 (1) | 0.00433 Å/s/M | |
| 大晶體頻率偏移 | 1.5 MHz | |
| 晶體范圍和精確性（來(lái)自 100-ms 樣品） | 6.0 to 4.5 MHz +/- 0.0035 Hz | |
| 厚度精度 (2) | 0.5% | |
| 測(cè)量頻率 | 10 Hz | |
| 多個(gè)測(cè)量值平均 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 設(shè)計(jì)功能 | ||
| Auto Z | yes | |
| 自動(dòng)色調(diào) | yes | |
| 共沉積 | yes (up to 6 sources) | |
| 過(guò)程配方和數(shù)據(jù)管理 | ||
| 材料計(jì)劃 | 32 | |
| 過(guò)程層（每個(gè)過(guò)程） | 200 | |
| 過(guò)程 | 50 (processes can be linked together) | |
| USB 存儲(chǔ)器 | yes | |
| 數(shù)據(jù)記錄 | yes | |
| 硬件功能 | ||
| 傳感器 (3) | ||
| 單 | 8 | |
| 雙 / CrystalTwo® | 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch) | |
| CrystalSix® | 8 | |
| Crystal 12® | 8 | |
