日立一款的FT110測厚儀
特點:
·即放即測:無需人工對焦造成誤差,測量結(jié)果更可靠;
·測試速度快:3秒自動對焦,10秒鐘完成50nm級極薄鍍層的測量;
·無標(biāo)樣測量:與以往的技術(shù)相比,薄膜FP軟件得到進(jìn)一步擴充,即使沒有標(biāo)準(zhǔn)品也能精確測量;
·多鍍層測量:多能夠進(jìn)行5層的多鍍層樣品測量;
·廣域圖像觀察:能將樣品圖像放大5到7倍,并對測量部位精確定位;
·低成本:較以往機型價格降低了20%。
日立一款的FT110測厚儀與以往的鍍層厚度測量儀相同,適用于各種應(yīng)用程序,同時通過增加新功能以提高可操作性和測量性能,從而大幅縮短從準(zhǔn)備樣品到完成所有處理的時間。提供符合客戶需求的多種選配功能,可根據(jù)需要選擇適合的儀器配置。