1.什么是質(zhì)量流量計?什么是質(zhì)量流量控制器?
大家可能會經(jīng)??吹?,有些地方說質(zhì)量流量計,有些地方說質(zhì)量流量控制器。其實(shí),這是有區(qū)別的。
質(zhì)量流量計,即Mass Flow Meter(MFM ), 是一種精確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn),不需要溫度壓力補(bǔ)償。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC ),不但具有質(zhì)量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定,MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。
簡單來說,質(zhì)量流量計只測量不控制。而質(zhì)量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量大小。
2.怎么理解質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的流量單位?
氣體質(zhì)量流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升)來表示。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是SCCM﹑SLM 不同于mL/min﹑L/min 之處。
對多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位 時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù),可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干SLM)即可實(shí)現(xiàn)。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量
浮子。浮子流量計,又稱轉(zhuǎn)子流量計、金屬轉(zhuǎn)子流量計、成豐玻璃轉(zhuǎn)子流量計,是變面積式流量計的一種。在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中,圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的,從而使浮子可以在錐管內(nèi)自由地上升和下降。浮子流量計是僅次于差壓式流量計應(yīng)用范圍廣的一類流量計,特別在小、微流量方面有舉足輕重的作用。
(6) 可靠性、精度等級不高(一般為1.5~2.5級左右),重復(fù)性差。(7) 使用壽命短(一般精度只能保證一年)。(8) 超聲波流量計是通過測量流體速度來確定體積流量,對液體應(yīng)該測量它的質(zhì)量流量,儀表測量質(zhì)量流量是通過體積流量乘以人為設(shè)定的密度后得到的,當(dāng)流體溫度變化時,流體密度是變化的,人為設(shè)定密度值,不能保證質(zhì)量流量的度。只能在測量流體速度的同時,又測量了流體密度,才能通過運(yùn)算,得到真實(shí)質(zhì)量流量值。(9) 價格較高。
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浮子。浮子流量計,又稱轉(zhuǎn)子流量計、金屬轉(zhuǎn)子流量計、成豐玻璃轉(zhuǎn)子流量計,是變面積式流量計的一種。在一根由下向上擴(kuò)大的垂直錐管中,圓形橫截面的浮子的重力是由液體動力承受的,從而使浮子可以在錐管內(nèi)自由地上升和下降。浮子流量計是僅次于差壓式流量計應(yīng)用范圍廣的一類流量計,特別在小、微流量方面有舉足輕重的作用。
(6) 可靠性、精度等級不高(一般為1.5~2.5級左右),重復(fù)性差。(7) 使用壽命短(一般精度只能保證一年)。(8) 超聲波流量計是通過測量流體速度來確定體積流量,對液體應(yīng)該測量它的質(zhì)量流量,儀表測量質(zhì)量流量是通過體積流量乘以人為