SRBZ820C-SMSX潔凈機器人
采用*的直驅(qū)電機驅(qū)動技術，具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃，提高運動節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能。安全區(qū)保護等功能有效地提高了產(chǎn)品的安全等級。在半導體前道設備中廣泛應用，對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務，快速響應的售后服務，以及敦實的技術實力，是我們的主要競爭力。
簡介SRBZ820C-SMSX潔凈機器人
Introduction
采用*的直驅(qū)電機驅(qū)動技術，具有噪音小、振動小、運行平穩(wěn)、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規(guī)劃，提高運動節(jié)拍，提高了用戶產(chǎn)能。安全區(qū)保護等功能有效地提高了產(chǎn)品的安全等級。在半導體前道設備中廣泛應用，對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務，快速響應的售后服務，以及敦實的技術實力，是我們的主要競爭力。推動了國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈的進步，有效的支撐了國內(nèi)設備商的發(fā)展。
參數(shù)SRBZ820C-SMSX潔凈機器人
Parameter
| 結(jié)構形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
|---|---|---|
| 密封方式Seal way | 磁流體密封Ferro-Fluidic Sealing | |
| 自由度數(shù)DOF | 2 | |
| 負載Payload | 名稱name | 托盤Tray |
| 直徑diameter | Φ370mm | |
| 重量weight | 2.5kg | |
大運動范圍 Moving Range | R軸（mm）R-Axis | 立柱中心至R軸大伸展處被搬運物體中心距離820 Distance from pillar center to the moving objects center of the biggest R-axis stretching is R820mm |
| θ軸（°）θ-Axis | ||
全行程小時間 Minimum running time | R軸（s）R-Axis | 2.5 |
| θ軸（s）θ-Axis | 3.5 | |
重復定位精度 Repeatability | θ軸（°）θ-Axis | ±0.01（3σ） |
| R軸（mm）R-Axis | ±0.1（3σ） | |
| 重量Weight | 機械手本體Main-body | 41kg |
| 控制器Controller | 15kg | |
| 耐真空度Base Pressure (Pa) | 10-5Pa | |
| 漏率leak rate | <1*10E-8Mbar*L/s | |
| 碰撞保護Collision Protect Function | 盤片和機械手無損傷Disc and robot without damage | |
