MSA-100-3D顯微式測振儀MSA-100-3D 顯微式激光測振儀可在大帶寬范圍內(nèi)實(shí)時(shí)測量樣本的動態(tài)特性,高分辨率同時(shí)記錄和分析XYZ三個(gè)方向的振動分量,每向的振幅分辨率均達(dá)到亞皮米級。
MSA-100-3D顯微式測振儀因激光光斑極小,所以橫向分辨率*,且?guī)捀哌_(dá) 25 MHz,是用于微機(jī)電傳感器(MEMS) 以及其他微結(jié)構(gòu)振動測量的理想設(shè)備。通過軟件移動樣品,完成樣品整個(gè)表面的振動分析,然后以圖形方式顯示振型。
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