OLYMPUS半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡MX61/61L
MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡通過各種觀察方法--明視場法、暗視場法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線法和深紫外線法，保證了的圖像分辨率和鮮明度。
功能特點：OLYMPUS半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡MX61/61L
主要操作集中配置在前面板上
◆在對比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動，用一個按鈕就可以操作。此外，用一個手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開對焦手柄，只要輕動大拇指就可以操作。這個按鈕的傾斜式設(shè)計提高了手指尖的感知度，能夠防止錯誤操作。
觀察姿勢迅速到位的傾斜鏡筒OLYMPUS半導(dǎo)體/FPD檢測顯微鏡MX61/61L
◆為了適應(yīng)視點而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢進行檢查的話會浪費時間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無關(guān)的舒適觀察姿勢，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長了從觀察中心軸到觀察者視點的距離，可以在較大的平臺上輕松操作。
高靈敏度載物臺可以迅速決定位置
◆對應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時能自由地移動載物臺，快速完成檢查。
鮮明圖像和的分辨率為特點的光學(xué)系
◆物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對多種多樣的觀察方法、長工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
