OLYMPUS半導(dǎo)體/FPD檢測(cè)顯微鏡MX61/61L
MX61L/ MX61, 300 mm/200 mm半導(dǎo)體檢查顯微鏡通過(guò)各種觀察方法--明視場(chǎng)法、暗視場(chǎng)法、微分干涉法（DIC）、熒光法、紅外線法和深紫外線法，保證了的圖像分辨率和鮮明度。
功能特點(diǎn)：OLYMPUS半導(dǎo)體/FPD檢測(cè)顯微鏡MX61/61L
主要操作集中配置在前面板上
◆在對(duì)比度的決定上起重要作用的孔徑光闌（AS）的開(kāi)閉調(diào)節(jié)，與物鏡的切換和觀察模式連動(dòng)，用一個(gè)按鈕就可以操作。此外，用一個(gè)手指就可以調(diào)光的旋鈕也配置在前面板上，從而提高了檢查速度。物鏡和孔徑光闌（AS）的按鈕分別斜向配置，手不離開(kāi)對(duì)焦手柄，只要輕動(dòng)大拇指就可以操作。這個(gè)按鈕的傾斜式設(shè)計(jì)提高了手指尖的感知度，能夠防止錯(cuò)誤操作。
觀察姿勢(shì)迅速到位的傾斜鏡筒OLYMPUS半導(dǎo)體/FPD檢測(cè)顯微鏡MX61/61L
◆為了適應(yīng)視點(diǎn)而調(diào)整座椅的高度，或是以不合理的姿勢(shì)進(jìn)行檢查的話會(huì)浪費(fèi)時(shí)間，降低工作速度。但是，配備傾斜角度為0°～42°（可變高度為150 mm，SEMI S8對(duì)應(yīng)）的傾斜鏡筒，可采取與檢查者體格無(wú)關(guān)的舒適觀察姿勢(shì)，甚至可以站立檢查。此外，這一款鏡筒拉長(zhǎng)了從觀察中心軸到觀察者視點(diǎn)的距離，可以在較大的平臺(tái)上輕松操作。
高靈敏度載物臺(tái)可以迅速?zèng)Q定位置
◆對(duì)應(yīng)300 mm晶圓／17英寸面板的MX-SIC1412R2載物臺(tái)有較大的透射照明范圍（Y方向284 mm）。另外，內(nèi)置離合器的載物臺(tái)手柄，可切換粗調(diào)和微調(diào)。在顯微鏡觀察的同時(shí)能自由地移動(dòng)載物臺(tái)，快速完成檢查。
鮮明圖像和的分辨率為特點(diǎn)的光學(xué)系
◆物鏡是涉及到樣品的照明和觀察的重要部件，奧林巴斯有應(yīng)對(duì)多種多樣的觀察方法、長(zhǎng)工作距離、紅外光及LCD檢查用的齊全的物鏡產(chǎn)品陣容可供選擇。
