昆山國華電子等離子清洗機(jī)頻率
等離子清洗機(jī)在金屬、塑料凳行業(yè)應(yīng)用廣泛。那等離子清洗機(jī)常用的頻率是哪些呢?
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常用的等離子清洗機(jī)的等離子體激發(fā)頻率有三種:激發(fā)頻率為40HZ的等離子體為真空等離子體,13.56MHZ的等離子體為常壓寬幅等離子體,2.45GHZ的等離子體為大氣等離子體。
不同等離子清洗機(jī)的等離子體產(chǎn)生的偏壓是不一樣的,三種不同的等離子清洗機(jī)的等離子體機(jī)制不同。真空等離子體發(fā)生的反應(yīng)為物理反應(yīng),常壓寬幅等離子體發(fā)生的反應(yīng)既有化學(xué)反應(yīng)又有物理反應(yīng),大氣則是化學(xué)反應(yīng)。
真空等離子體清洗對(duì)被清潔表面產(chǎn)生的影響大,因而實(shí)際半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用中大多采用水平真空等離子清洗機(jī)。而常壓寬幅則應(yīng)用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果更佳,典型的等離子體物理清洗工藝是在反應(yīng)腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗;氬氣本身是惰性氣體,等離子體的氬氣不和表面發(fā)生反應(yīng),而是通過離子轟擊使表面清潔。
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