昆山國華真空等離子清洗機(jī)發(fā)展歷程

真空等離子清洗機(jī)由真空發(fā)生系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、等離子發(fā)生器、真空腔休、機(jī)械等幾個(gè)部分組成，可以根據(jù)客戶的特殊要求定制符合客戶需要的真空系統(tǒng)，真空室。容易采用數(shù)控技術(shù)，自動(dòng)化程度高；具有高精度的控制裝置，時(shí)間控制的精度很高；正確的等離子體清洗不會(huì)在表面產(chǎn)生損傷層，表面質(zhì)量得到保證；由于是在真空中進(jìn)行，*，保證清洗表面不被二次污染。

真空等離子清洗機(jī)是氣體分子在真空、放電等特殊場合下產(chǎn)生的物質(zhì)，等離子清洗/刻蝕產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置。廣泛應(yīng)用于表面去油及清洗等離子刻蝕，聚四氟（PTFE）及聚四氟混合物的刻蝕、塑料、玻璃、陶瓷的表面活化和清洗、等離子涂鍍聚合等工序，因此又應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域、電子領(lǐng)域、PCB制成行業(yè)等高精密度領(lǐng)域。

真空等離子清洗機(jī)通過兩個(gè)電極形成電磁場，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體越來越稀薄，分子間距及分子或郭的自由運(yùn)動(dòng)距離也越來越長，受磁場作用，發(fā)生碰撞而形成等離子體，同時(shí)會(huì)發(fā)生輝光，等離子體在電磁場內(nèi)空間運(yùn)動(dòng)，并轟擊被處理物體表面，達(dá)到去除表面油污以及表面氧化物，灰化表面有機(jī)物，以及其它化學(xué)物質(zhì)，從而達(dá)到表面處理、清洗和刻蝕效果，經(jīng)過等離子處理工藝可以實(shí)現(xiàn)有選擇的表面改性。

真空等離子清洗機(jī)運(yùn)行過程如下：

1 ）被清洗的工件送入真空室并加以固定， 啟動(dòng)運(yùn)行裝置，開始排氣，使真空室內(nèi)的真空程度達(dá)到10 Pa左右的標(biāo)準(zhǔn)真空度。一般排氣時(shí)間大約需要 2 min。 

2 ）向真空室引入等離子清洗用的氣體，并使其壓力保持在100 Pa。 根據(jù)清洗材質(zhì)的不同，可分別選用氧氣、氫 氣、氬氣或氮?dú)獾葰怏w。 

3 ）在真空室內(nèi)的電極與接地裝置之間施加 高頻電壓，使氣體被擊穿，并通過輝光放電而發(fā) 生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體*籠罩住被處理工件，開始清洗作業(yè)。一 般清洗處理持續(xù)幾十秒到幾分鐘。

4 ）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及氣化的污垢排出，同時(shí)向真空室內(nèi)鼓入空氣，并使氣壓升至一個(gè)大氣壓。

昆山國華真空等離子清洗機(jī)發(fā)展歷程

等離子清洗機(jī)的作用針對(duì)不同的產(chǎn)品有不同的作用，不過也無外乎以下幾種：

等離子表面活化/蝕刻；等離子表面灰化/改性；提高材料表面的浸潤能力；增強(qiáng)材料表面的邦定性；去除材料表面的有機(jī)污染物、油脂或油污。

等離子清洗機(jī)的作用原理：

（A）對(duì)材料表面的刻蝕作用

物理作用 等離子體中的大量離子、激収態(tài)分子、自由基等多種活性粒子，作用到固體樣品表面，清除了表面原有的污染物和雜質(zhì)，而且會(huì)產(chǎn)生刻蝕作用，將樣品表面變粗糙，形成許多微細(xì)坑洼，增大了樣品的比表面。提高固體表面的潤濕性能。

（B）激活鍵能，交聯(lián)作用

等離子體中的粒子能量在 0~20eV，而聚合物中大部分的鍵能在 0~10eV，因此等離子體作用到固體表面后，可以將固體表面的原有的化學(xué)鍵產(chǎn)生斷裂，等離子體中的自由基中的這些鍵形成網(wǎng)狀的交聯(lián)結(jié)構(gòu)，大大地激活了表面活性。

（C）形成新的官能團(tuán)

化學(xué)作用如果放電氣體中引入反應(yīng)性氣體，那么在活化的材料表面會(huì)發(fā)生復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)，引入新的官能團(tuán)，如烴基、氨基、羧基等，這些官能團(tuán)都是活性基團(tuán)，能明顯提高材料表面活性