山東省承裝(修、試)數(shù)字式真空計(jì)
原理介紹:
數(shù)字式真空計(jì)1-1000Pa 承裝 承修,按照真空計(jì)測量原理所利用的不同的物理機(jī)制,可將主要的真空計(jì)分為三大類,分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì)。
利用力學(xué)性能的真空計(jì)典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計(jì)有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計(jì)有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
波爾登規(guī)(Bourdon)
細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn),使得指針指示在不同刻度上,即可讀出相應(yīng)的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
山東省承裝(修、試)數(shù)字式真空計(jì)
◆漏電電流的處理
對處于分?jǐn)酄顟B(tài)的真空滅弧室兩端加高壓時,會有數(shù)值不等的幾個微安的漏電電流,此漏電電流即使是同型號的真空滅弧室也有較大的個體差異。尤其是對于裝在整機(jī)上的真空滅弧室,由于其周邊的絕緣支撐件也有漏電,這些漏電的總和有更大的不穩(wěn)定性和不可預(yù)測性,并且在數(shù)值上與10-4Pa數(shù)量級的真空滅弧室的電離電流相當(dāng)。我們采用兩次起動高壓的方法,扣除了漏電電流,保證了無論是裝于整機(jī)上還是待裝的真空滅弧室的真空計(jì)量精度。
◆內(nèi)置多條真空滅弧室的測量曲線
真空滅弧室由于其幾何尺寸、材料的不同,當(dāng)內(nèi)部真空度和外加激勵電源一定時,其放電電荷量是不同的,并且有相當(dāng)?shù)牟町悺闇?zhǔn)確測量,對每一種真空滅弧室必須有對應(yīng)的從電離電荷量到真空度的推算曲線。我廠 的專家通過與國內(nèi)主要真空滅弧室生產(chǎn)廠家的密切合作,取得了很多真空滅弧室的電離電荷和真空度關(guān)系的數(shù)據(jù),通過數(shù)學(xué)處理,產(chǎn)品內(nèi)置了很多真空滅弧室的測量曲線。