中圖儀器CHOTEST+激光干涉儀
SJ6000 激光干涉儀
激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今*的高精度，高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
中圖儀器CHOTEST+激光干涉儀
SJ6000 激光干涉儀
激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今*的高精度，高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高，測(cè)量范圍大，測(cè)量速度快，測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)，角度，直線度，垂直度，平行度，平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性，角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移分析，速度分析，加速度分析，FET分析，如絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析，振動(dòng)分析，驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
SJ6000功能特點(diǎn) 1.精度高 SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度，抗*力強(qiáng)，*穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響 ，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
2.功能廣（1）可實(shí)現(xiàn)線性，角度，直線度，垂直度，平行度，平面度，回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量。（2）可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度，重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角，扭擺角，直線度，垂直度等；（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；（5）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
3.軟件強(qiáng) （1）友好的人機(jī)界面；（2）豐富的應(yīng)用功能模塊；（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋唬?/span>4）簡(jiǎn)潔化的記錄管理；（5）支持中文簡(jiǎn)體，中文繁體，英文和俄文界面；（6）支持企業(yè)專屬模板定制。
4.標(biāo)準(zhǔn)多 內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB，ISO，英標(biāo)，美標(biāo)，德標(biāo)，日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可根據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
中圖儀器CHOTEST+激光干涉儀
技術(shù)指標(biāo)：
系統(tǒng)性能：1.穩(wěn)頻精度：0.05ppm
2.動(dòng)態(tài)采集頻率：50kHz
3.預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘
4.工作溫度范圍：（0-40）℃
5.環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：（0~95）%RH
6.存儲(chǔ)溫度范圍：-20℃~70℃
環(huán)境補(bǔ)償示值誤差：1.空氣溫度傳感器:±1.0℃(0-40) ℃，分辨率0.01 ℃
2.材料溫度傳感器：±1.0℃(0-55) ℃，分辨率0.01 ℃
3.空氣溫度傳感器：±5%RH（0-95）%RH
4.大氣壓力傳感器：±0.1kPa(65-115)kPa
線性測(cè)量：1.測(cè)量距離：（0-80）m(無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
2.測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃
3.測(cè)量分辨率：1nm
4.測(cè)量大速度;4m/s
角度測(cè)量：1.軸向量程：（0-15）m
2.測(cè)量范圍：±10°
3.測(cè)量精度：±（0.02%R+0.1+0.024M）″(R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
4.測(cè)量分辨率為：0.1″
平面度測(cè)量：1. 軸向量程：（0-15）m
2. 測(cè)量范圍：±1.5mm
3.測(cè)量精度：±（0.02%R+0.02M²）µm (R為顯示值，單位：µm；M為測(cè)量距離，單位：m)
4.基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
5.測(cè)量分辨力：0.1µm
直線度測(cè)量：
| 軸向量程 | 測(cè)量范圍 | 測(cè)量精度 | 分辨力 |
短距離 | （0.1-4.0）m | ±3mm | ±(0.5+0.25%R+0.15M²)µm | 0.01µm |
長(zhǎng)距離 | (1.0-20.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.5%R+0.015M²)µm | 0.1µm |
注：R為顯示值，單位：µm；M為測(cè)量距離，單位：m |
| |||
垂直度測(cè)量：
| 軸向量程 | 測(cè)量范圍 | 測(cè)量精度 | 分辨力 |
短距離 | （0.1-3.0）m | ±3/M mm/m | ±(2.5+0.25%R+0.8M²)µm/m | 0.01µm/m |
長(zhǎng)距離 | (1.0-15.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M²)µm/m | 0.1µm/m |
注：R為顯示值，單位：µm；M為測(cè)量距離，單位：m |
| |||
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量：
- 型號(hào)：WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái) 5.轉(zhuǎn)速：10rpm
- 角度測(cè)量范圍;（0-360）° 6.重量：1.9kg
- 測(cè)量精度;±1″ 7.供電方式;可充電鋰電池
- 分辨力：0.1″ 8.通電方式：無(wú)線藍(lán)牙傳輸
