無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。
無塵室概述
無塵室中不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
無塵室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當(dāng)然這個標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
如表所示,每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達(dá)到了無塵標(biāo)準(zhǔn)的*。應(yīng)用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標(biāo)準(zhǔn)對于灰塵的要求高于*,這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
控管項目
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
⒉ 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
⒊ 溫度和濕度之控制。
⒋ 壓力之調(diào)節(jié)。
⒌ 有害氣體之排除。
⒍ 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。
⒎ 靜電之防制。
⒏ 電磁干擾預(yù)防。
⒐ 安全因素之考慮。
⒑ 節(jié)能之考量。
⒒照度的的調(diào)節(jié)
無塵室設(shè)備
風(fēng)淋室
風(fēng)淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強(qiáng)的局部凈化設(shè)備,安裝于潔凈室與非潔凈室之間。當(dāng)人與貨物要進(jìn)入潔凈區(qū)時需經(jīng)風(fēng)淋室吹淋,其吹出的潔凈空氣可去除人與貨物所攜帶的塵埃,能有效的阻斷或減少塵源進(jìn)入潔凈區(qū)。風(fēng)淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖,又可起到氣閘的作用,阻止未凈化的空氣進(jìn)入潔凈區(qū)域。
FFU
FFU可模塊化連接使用,使得FFU廣泛應(yīng)用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應(yīng)用場合。FFU設(shè)有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,過濾后的潔凈空氣在整個出風(fēng)面以0.45M/S±20%的風(fēng)速勻速送出。它為不同尺寸大小,不同潔凈度等級的潔凈室、微環(huán)境提供高質(zhì)量的潔凈空氣。在新建潔凈室、潔凈廠房式改造翻新中,即可提高潔凈度級別,降低噪音和振動,也可大大降低造價,安裝維護(hù)方便,是潔凈環(huán)境的理想部件。
FFU特點: 1.FFU外形尺寸(mm):1175*575*320,噪聲52~56分貝;2.FFU箱體和高效過濾器采用分體式設(shè)計,安裝,更換高效更方便; 3.風(fēng)機(jī)采用德國emb直驅(qū)式離心風(fēng)機(jī)或者國產(chǎn)鋁葉輪離心風(fēng)機(jī),工作時間長達(dá)5萬小時以上; 4.并具有節(jié)能、計算機(jī)集中控制、運行穩(wěn)定、噪聲低、數(shù)字化調(diào)整等特性; 5.FFU采用*的風(fēng)道風(fēng)速均勻,整個出風(fēng)面以0.45M/S風(fēng)速均勻送出。 6.殼體可選用鏡面不銹鋼、覆鋁鋅板、冷板靜電噴塑制做美觀大方; FFU出廠前均按美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)(209E)用激光粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測,確保質(zhì)量;FFU適用于10~1000級無塵車間,便于整體運行集中控制; FFU適用于半導(dǎo)體、電子、平板顯示器和磁盤驅(qū)動器的廠家及光學(xué)、生物工業(yè)及其它對空氣中污染有嚴(yán)格控制要求的地方。以*的優(yōu)勢合理的價格迅速占領(lǐng)市場。 高度低,系統(tǒng)設(shè)計時可節(jié)省氣室空間。輕量化結(jié)構(gòu)設(shè)計,可符合各廠家的 Grid 系統(tǒng)安裝,更可依 Grid 系統(tǒng),變更 FFU 結(jié)構(gòu)尺寸設(shè)計。內(nèi)部裝置擴(kuò)散板.風(fēng)壓擴(kuò)散均勻,出風(fēng)面風(fēng)速平均穩(wěn)定。金屬結(jié)構(gòu)順風(fēng)道內(nèi)膽,*老化.杜絕二次污染產(chǎn)生,表面光滑,風(fēng)阻低.隔音效果優(yōu)良。特殊入風(fēng)口,風(fēng)道設(shè)計,降低壓損與噪音的產(chǎn)生。馬達(dá)效率高,系統(tǒng)消耗電流低,節(jié)省能源成本。單相馬達(dá),提供三段式調(diào)速,可依實際狀況調(diào)高或降低風(fēng)速與風(fēng)量。 1. 風(fēng)機(jī)采用進(jìn)口高效離心風(fēng)機(jī),具有長壽命、低噪聲、免維護(hù)、震動小、可無級調(diào)速等特性,風(fēng)機(jī)質(zhì)量可靠,工作壽命長達(dá)5萬小時或以上。 2. 特別適合于組裝成超凈生產(chǎn)線,可根據(jù)工藝需要布置為單臺使用,也可將多臺串聯(lián)形成100級流水裝配線。 3. 殼體結(jié)構(gòu)選用不銹鋼、鋁合金、覆鋁鋅板、冷軋鋼板材料制造,重量輕、抗腐蝕、防銹、美觀大方。 4. 產(chǎn)品出廠前均按美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E,METOME塵埃粒子計數(shù)器逐臺掃描檢測,確保質(zhì)量。 溫州升旭凈化工程有限公司專業(yè)承接空氣凈化工程、手術(shù)室凈化、GMP車間凈化、實驗室凈化、無菌室凈化、食品車間凈化、*凈化、廠房凈化、藥品車間等服務(wù)。
無塵室構(gòu)成
無塵室的構(gòu)成是由下列各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不可的),否則將無法構(gòu)成一完整且品質(zhì)良好的無塵室:
⑴天花板系統(tǒng)
包括吊桿(Ceiling rod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceiling grid或Ceilingframe)。
⑵空調(diào)系統(tǒng)
包括空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風(fēng)車等。
⑶隔墻板(Partitional wall)
包括窗戶、門。
⑷地板
包括高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。
⑸照明器具
包括日光燈、黃色燈管等。
⑹無塵室之建筑主體構(gòu)造
一般是用鋼筋或*,但無論是何種構(gòu)造,必須滿足如下之條件:
A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;
B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;
C.吸濕性小;
D.為了維持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;
維護(hù)管理
潔凈技術(shù)在近20年發(fā)展迅速,各種規(guī)模、不同等級的無塵室在電子、精密機(jī)械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日益重要的作用,為提高產(chǎn)品質(zhì)量、開發(fā)*做出了重要貢獻(xiàn)。無塵室如果設(shè)計是正確、合理的,施工建造是高質(zhì)量的,但在運行維護(hù)管理中不科學(xué)、不嚴(yán)格、必將使無塵室的空氣潔凈度逐漸下降,造成實際生產(chǎn)環(huán)境中的多項指標(biāo)偏離規(guī)定要求,從而產(chǎn)品質(zhì)量下降,甚至不合格。
無塵室人員管理,制定專職管理人員的職責(zé)、無塵室人員的準(zhǔn)入制度、人員培訓(xùn)教育規(guī)定、進(jìn)入無塵室人員的"人凈程序"管理。物流管理,物料進(jìn)入、各類設(shè)備進(jìn)入,以及相關(guān)設(shè)備、管線的維護(hù)管理,應(yīng)做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。潔凈度管理,包括潔凈服采購和制作、潔凈服使用管理、潔凈服的清洗規(guī)定等。清掃、滅菌管理,對于無塵室內(nèi)的各種設(shè)備和設(shè)施的清掃滅菌方法,周期和檢查作明確的規(guī)定,防止、消除無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及繁殖。嚴(yán)格各類設(shè)備、設(shè)施的維護(hù)管理,制定相應(yīng)的操作規(guī)程,保證各類設(shè)備、設(shè)施按要求正常運轉(zhuǎn),包括凈化空調(diào)系統(tǒng)、各類水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設(shè)備和器具等,以確保產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求和空氣潔凈度級別。
監(jiān)控?zé)o塵室在使用過程中正常的運行和維護(hù),應(yīng)對室內(nèi)的運行狀況及相關(guān)設(shè)施進(jìn)行定期檢查。如:在規(guī)定的時間、地點,用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù);在規(guī)定時間、地點測定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等;溫濕度方面,在規(guī)定的時間、地點測定和核對連續(xù)測定記錄;測量凈化空調(diào)系統(tǒng)的高效過濾器的壓差,檢查空氣過濾器是否堵塞、安裝的密封墊是否完好或過濾器損壞引起的泄露情況,使用風(fēng)速計檢查局部排風(fēng)裝置的風(fēng)量;使用噪聲測定儀在規(guī)定的時間、地點測定噪聲值;檢查送風(fēng)機(jī)軸承、送風(fēng)機(jī)的運行狀態(tài)、塵埃和污物,以及送、回風(fēng)管道內(nèi)部和送風(fēng)口的腐蝕及污垢等情況;無塵室內(nèi)是否保值清潔、頂棚和墻面是否有裂縫或腐蝕;涂敷狀態(tài)、機(jī)械和設(shè)備類有沒有異常現(xiàn)象等,必須逐個列表檢查,不能遺漏任何一項;使用照度表在規(guī)定的時間、地點測定照度值;使用壓差表測定無塵室內(nèi)外的靜壓差。
銷售及客戶區(qū)域:上海 江蘇 蘇州 昆山 太倉 常熟 張家港 吳江 無錫 常州 南京 鎮(zhèn)江 南通 浙江 杭州 臺州 珠海 嘉興 濟(jì)南 濰坊 淄博 遼寧 大連 丹東 北京 天津 武漢 河南 湖州 安徽 蕪湖 馬鞍山 合肥 山東 青島 煙臺 威海