產(chǎn)品簡介:
FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用美國流量傳感芯片來研發(fā)制作,適用于各類清潔、干燥氣體。*的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量,成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償,可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出,通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。
FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器產(chǎn)品特點:
• 傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
• 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
• 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高
• 貼壁式安裝,無直管段要求,易于安裝與使用
• 輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)或由上位機查詢輸出數(shù)據(jù)(RS232 / I2C),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
• 零點穩(wěn)定度高
• 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
• 低功耗、低壓損
• 響應(yīng)速度快
FS4001系列氣體質(zhì)量流量傳感器技術(shù)參數(shù):
FS4001
量程范圍 0~30,50,200,500,1000,或根據(jù)客戶需求定制 sccm
量程比 >100:1
精度 ±(1.5±0.2FS) %
重復(fù)性 ±0.25 %
零點輸出飄逸 ±30 mV
輸出飄逸 0.12 %/oc
響應(yīng)時間 100(默認,50,100,200,500,100設(shè)置) ms
工作電源 8~18Vdc,50mA
輸出方式 RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損 900 Pa
大流量壓力 0.5 MPa
工作溫度 -5~+45 oC
存儲溫度 -20~+55 oC
工作濕度 <95%RH(無結(jié)冰、無凝露)
機械接口 M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉(zhuǎn)接模塊)
校準方式 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa
重量 15 g