電子氣體質(zhì)量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范圍內(nèi)的多種氣體的流量。利用通過加熱管進行的熱傳遞直接測量氣體質(zhì)量流量,并且無需對(規(guī)定限值以內(nèi))的氣體溫度或壓力變動進行補償。該產(chǎn)品提供用于測量普通氣體流量的經(jīng)濟型鋁質(zhì)/銅質(zhì)結(jié)構(gòu),以及用于有更高耐腐蝕要求應(yīng)用場合的316不銹鋼結(jié)構(gòu)。不帶一體式顯示屏的控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模擬輸出,以便進行遠程監(jiān)測;
500系列控制器兼具一體式3½位數(shù)字顯示屏和模擬輸出。顯示屏可傾斜90度,查看讀數(shù)時很方便,顯示屏還經(jīng)過校準(zhǔn),可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流速,可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準(zhǔn)。
400質(zhì)量流量控制器帶有內(nèi)置式電磁閥,無論入口或出口壓力如何變化,都能保持穩(wěn)定的流速。設(shè)定值可通過電位器(通過殼體上的窗口可調(diào)整該電位器)本地控制,或者可以通過0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA(現(xiàn)場可選)模擬信號遠程控制。
電子氣體質(zhì)量流量控制器
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