107J測量顯微鏡采用透、反射的方式對工件長度和角度作緊密測量。特別適用于錄像磁頭,大規(guī)模集成電路線寬以及其它緊密零件的測試。廣泛地適用于計量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。
光學(xué)系統(tǒng):
目鏡:BWF10X
物鏡轉(zhuǎn)換器:4X 工作距離17.5 焦距28.8
10X 工作距離11.6 焦距15.4
40X 工作距離0.66 焦距4.4
107J測量顯微鏡,采用透、反射的方式對工件長度和角度作緊密測量。特別適用于錄像磁頭,大規(guī)模集成電路線寬以及其它緊密零件的測試。廣泛地適用于計量室,生產(chǎn)作業(yè)線以及科學(xué)研究等部門。
本儀器為光柵數(shù)顯的小型精密測量儀器。工作臺除作X、Y坐標(biāo)的移動外,還可作360°的旋轉(zhuǎn),亦可以進(jìn)行高度方向Z坐標(biāo)的測量;采用雙筒目鏡觀察。照明系統(tǒng)除作透、反射照明外還可作斜光線照明。儀器進(jìn)一步可連接CCD 電視攝像頭,作工件的輪廓放大;亦可連接計算機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)處理等測量。是一種理想的多用途的小型精密測量儀器。
型號 | 107JⅠ | 107JⅡ | 107JⅢ | ||
鏡筒
| 粗動 | 調(diào)節(jié)范圍90mm | |||
微動 | 調(diào)節(jié)范圍2mm | ||||
高(Z)測量 | 1mm小讀數(shù)0.001mm(比較測量) | ||||
鏡筒 | 雙目鏡筒俯角45° | ||||
工作臺
| 左右(X)軸 | 移動范圍25mm | 移動范圍50mm | 移動范圍50mm | |
前后(Y)軸 | 移動范圍25mm | 移動范圍25mm | 移動范圍50mm | ||
分辨率 | 1微米 | ||||
旋轉(zhuǎn) | 360° | ||||
照明系統(tǒng)
| 光源 | 透射照明 | 8V-12W藍(lán)、綠色濾光片 | ||
反射照明 | 8V-12W磨砂燈泡、綠色濾光片 | ||||
斜照明 | 8V-12W | ||||
電源 | AC220V±10%50/60HZ | ||||
光學(xué)系統(tǒng)
| 目鏡 | BWF10X | |||
物鏡
| 4X 工作距離17.5 焦距28.8 | ||||
10X 工作距離11.6 焦距15.4 | |||||
40X 工作距離0.66 焦距4.4 |