DSN--D300C氣體質(zhì)量流量計(jì)
本產(chǎn)品采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC具有更*的性能優(yōu)勢(shì)：
本產(chǎn)品采用“激光分選”工藝制作的微型傳感器，氣體層流結(jié)構(gòu)精密均勻，高耐腐蝕，使得MFC具有更*的性能優(yōu)勢(shì)：DSN--D300C氣體質(zhì)量流量計(jì)
1.高的可靠性、穩(wěn)定性和重復(fù)性。DSN--D300C氣體質(zhì)量流量計(jì)
2.高精密的控制機(jī)構(gòu)。
3.高速響應(yīng) MFM< 0.5秒； (MFC通常< 4s)。
4.長(zhǎng)壽命（正常使用可達(dá)十年以上）。
5.采用微小尺寸的傳感器，消除了“傳感器”本身熱效應(yīng)對(duì)層流的破壞，“零點(diǎn)漂移”小于1%。
6.可自行清除工作過(guò)程中的表面污物（注：此項(xiàng)操作須在生產(chǎn)廠家進(jìn)行）。
7.適應(yīng)于一切氣體（包括腐蝕性氣）。
8.一體化設(shè)計(jì)，*的抗電磁干擾性能。
具體參數(shù)：
1. 外形尺寸（不帶接頭）：130*45*140（mm）
2. 重量：2.3KG
3. 流量范圍：0-300L/min
4. 工作壓差：0.05-0.35Mpa
5. 電源：±15V，電流不低于500 m A
6. 泄漏率 ：< 1×10-8sccs He
7. 耐壓：3Mpa
8. 材料：316L
9. 標(biāo)準(zhǔn)密封：Viton® O-ring
10. 工作環(huán)境溫度：0-45℃
11. 接口尺寸：Ø10 3/8（通徑Ø6, Ø8）
附：壓差流量對(duì)照表
工作壓差（MPa） 0.1 0.2 0.25 0.3 0.35
流量范圍（SLM） 0~100 0~200 0~250 0~300 0~300
