納米操作機LF-2000
小尺寸：小型化設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊
高精度：納米級微操作
易操作：XYZ直角坐標(biāo)，支持PC/遙感操作
產(chǎn)品特性
· 兼容主流電鏡，不影響電鏡功能
· 具有大行程、亞納米分辨率運動定位性能
· 位移傳感器集成自動化和可編程運動
· SEM真空環(huán)境優(yōu)化設(shè)計，可快速安裝與拆卸
規(guī)格參數(shù)
系統(tǒng)概況 | 系統(tǒng)尺寸 | 127x127x33mm3* |
機械手?jǐn)?shù)量 | 1-4 | |
操作手（宏動） | 驅(qū)動原理 | 粘滑驅(qū)動 |
運動范圍 | XY軸：10mm Z軸：5mm | |
大速度 | >3mm/s | |
小步長 | <100nm | |
操作手（微動） | 驅(qū)動原理 | 無摩擦柔性鉸鏈 |
運動范圍 | XYZ軸：20μm | |
大速度 | >45μm/s | |
開環(huán)運動分辨率 | 0.5nm | |
閉環(huán)運動分辨率 | 1nm | |
定位漂移率 | <0.35nm/min | |
軟件功能** | 點擊-移動 | 鼠標(biāo)在電腦屏幕上從A移動到B |
自適應(yīng)放大倍數(shù) | 定位器移動速度根據(jù)SEM放大自動調(diào)整 | |
操作手位置保存/加載 | 用戶自定義的“保存/加載”操作手坐標(biāo) | |
3D虛擬顯示 | 實時三維顯示操作手的位置和運動 | |
自動校準(zhǔn) | 操作手閉環(huán)傳感器自動校準(zhǔn) | |
運動軸的自動對準(zhǔn) | 所有操作手運動軸自動對準(zhǔn)SEM圖像軸 |
*系統(tǒng)尺寸可根據(jù)需要減小到50x50x17mm3
**可根據(jù)選定SEM/FIB的型號而定
應(yīng)用案例
電學(xué)特性
LifeForce為納米材料提供可靠、低噪音的電測量，以及與納米結(jié)構(gòu)的原位相互連接。實例照片展示的是四探針測量納米線電學(xué)性能。
力學(xué)測量
LifeForce為納米材料的力學(xué)特性提供高分辨率的力和位移反饋，實例照片展示的是用球端AFM懸臂探針對硅納米線簇進行納米壓痕，以及對單根納米線的拉伸測試。
拾取和放置操作
使用末端工具（例如：探針、微納米夾持器、超聲切割針），操作者能夠操作LifeForce納米操作手在SEM電鏡內(nèi)對微納米物體進行推、拉和抓取等操作。
制作微納米器件
精密的操作手運動能夠?qū)崿F(xiàn)微納米器件的快速成型和后處理。實例照片展示的是納米線FET傳感器的構(gòu)造。
納米電子器件電學(xué)測量
LifeForce納米操作機是市面上能夠自動探測電子結(jié)構(gòu)（范圍從亞微米，亞100nm及亞20nm）。只需要通過計算機點擊鼠標(biāo)，將探針定位到目標(biāo)位置。極低得定位漂移，保證數(shù)據(jù)采集得可靠性。
