進口冷凝泵(美國進口)

產品描述：
冷凝泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵又稱冷凝泵。冷凝泵是獲得清潔真空的極限壓力*低、抽氣速率*大的真空泵，廣泛應用于半導體和集成電路的研究和生產，以及分子束研究、真空鍍膜設備、真空表面分析儀器、離子注入機和空間模擬裝置等方面。因其潔凈無污染、效率高、抽速大、高可靠性等突出優(yōu)勢，被廣泛的應用于科學研究實驗室、乃至工業(yè)生產等眾多領域，如半導體材料制作、平板顯示器 生產/測試設備、太陽能制造業(yè)、真空鍍膜 、熱真空系統(tǒng)等。

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。氣體傳輸泵是一種能使氣體不斷的吸入和排出，借以達到抽氣目的的真空泵。氣體捕集泵是一種使氣體分子被吸附或凝結在泵的內表面上，從而減小了容器內的氣體分子數目而達到抽氣目的的真空泵。

　　抽氣原理

　　在低溫泵內設有由液氦或制冷機冷卻到極低溫度的冷板 ，它使氣體凝結，并保持凝結物的蒸汽壓力低于泵的極限壓力，從而達到抽氣作用。低溫抽氣的主要作用是低溫冷凝、低溫吸附和低溫捕集。

　?。?）低溫冷凝：氣體分子冷凝在冷板表面上或冷凝在已冷凝的氣體層上，其平衡壓力基本上等于冷凝物的蒸氣壓。抽空氣時，冷板溫度必須低于 25K；抽氫時，冷板溫度更低。低溫冷凝抽氣冷凝層厚度可達10毫米左右。

　?。?）低溫吸附：氣體分子以一個單分子層厚（10-8厘米數量級）被吸附到涂在冷板上的吸附劑表面上。吸附的平衡壓力比相同溫度下的蒸氣壓力低得多。如在20K時氫的蒸氣壓力等于大氣壓力，用20K的活性炭吸氫時吸附平衡壓力則低于10-8 帕。這樣就可能在較高溫度下通過低溫吸附來進行抽氣。

　?。?）低溫捕集：在抽氣溫度下不能冷凝的氣體分子，被不斷增長的可冷凝氣體層埋葬和吸附。

　　一般說來，泵的極限壓力就是冷板溫度下的被冷凝氣體的蒸氣壓力。溫度為120K時，水的蒸氣壓已低于10-8帕。溫度為20K時，除氦、氖和氫外，其他氣體的蒸氣壓也低于10-8帕。但由于被抽容器和低溫冷板的溫度不同，泵的極限壓力高于冷凝物的蒸氣壓。對于室溫下的容器，低溫板為20K時，泵的極限壓力約為冷凝物蒸氣壓力的4倍。

　　類型

　　低溫泵分為注入式液氦低溫泵和閉路循環(huán)氣氦制冷機低溫泵兩種。

　?。?）注入式液氦低溫泵：主要由液氦容器、泵體和連接擋板的液氮腔體等部分組成。為了減少液氦消耗，液氦容器的外壁采用雙層保溫壁并在其間抽成真空。當泵被預抽到10-6 帕壓力時灌入液氮和液氦，氣體凝結在4.2K的工作冷板上。經預抽使氦氫分壓到10-12帕數量級，故泵可獲得10-11帕以下的極限壓力。如果把液氦容器抽真空減壓到6650帕，液氦溫度可降到2.3K，則可得到更低的極限壓力。

　?。?）閉路循環(huán)氣氦制冷機低溫泵：它是70年代出現的新型低溫泵。這種泵不消耗氦氣、操作簡便，易于維修，應用日漸廣泛。制冷機的制冷介質為氣氦，一級冷板溫度為50～100K，用來冷凝水蒸汽和預冷其他氣體；二級冷板溫度為10～20K，用來冷凝氮、氧和氬等氣體。在二級冷板的內表面涂以活性炭。活性炭的比表面積為500～2500米2/克，在低溫下對氦、氖和氫有很強的吸附能力。冷板由無氧銅制成，表面拋光達到鏡面程度，以減小輻射系數。泵的極限壓力為10-7～10-8帕，工作壓力范圍為10-1～10-7帕，要求預抽壓力為1帕。制成的產品抽氣速率已達60000升/秒（1升=10-3米3）。此外，尚可根據工藝的特點把抽氣冷板安排在被抽容器內，其抽氣速率可達到106升/秒以上。

（美國ARCADIA阿卡迪亞）

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(Arcadia, USA)

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