在確定了工藝要求的真空度的基礎(chǔ)上檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的工作真空度。一般來(lái)講，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級(jí)泵的極限真空度低50%。
檢查確定工藝要求的抽氣種類(lèi)與抽氣量。因?yàn)槿绻怀闅怏w種類(lèi)與泵內(nèi)液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)將被污染。同時(shí)必須考慮確定合適的排氣時(shí)間與抽氣過(guò)程中產(chǎn)生的氣體量。
貝克真空泵在旋片式真空泵中的功效首要是冷卻、密封性和潤(rùn)滑,在真空度較高時(shí)還起頂開(kāi)自動(dòng)排氣閥的功效。進(jìn)油量對(duì)旋片式真空泵的真空度有一定的危害。進(jìn)油量過(guò)少,形不成油封,保障不了封口功效,貝克真空泵的真空度就降低。進(jìn)油量過(guò)少,滿足不了潤(rùn)滑的標(biāo)準(zhǔn),泵還將會(huì)導(dǎo)致超量損壞。進(jìn)油量過(guò)多,泵務(wù)必把超量的油排出來(lái), 起了類(lèi)似于油泵的功效, 為此噪聲提升,耗費(fèi)功率提升,發(fā)燙厲害,泵油的飽和蒸汽壓上升,黏度降低,油的密封功能減少,泵的真空度也就降低。比如一臺(tái)旋片式真空泵, 試制時(shí)進(jìn)油孔沒(méi)有按圖加工,以至進(jìn)油量過(guò)大,使泵氣溫高達(dá)83℃(室內(nèi)溫度25℃),真空度也就達(dá)不到標(biāo)準(zhǔn)。然后把進(jìn)油量適當(dāng)降低,泵溫即降至65℃。為此覺(jué)得操縱進(jìn)油量對(duì)提升泵的真空度有一定的影響。該真空系統(tǒng)的控制系統(tǒng)由*的PLC控制系統(tǒng)經(jīng)過(guò)編程后組成,以觸摸屏為人機(jī)界面,實(shí)現(xiàn)對(duì)真空系統(tǒng)、工件行走、磁控靶、工藝設(shè)定和執(zhí)行、報(bào)警保護(hù)系統(tǒng)等的全自動(dòng)化控制。
